研究実験用総合カタログ2018号 986-987(988-989)

概要

  1. 計測機器
  2. 流量計・圧力計
  1. 986
  2. 987

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デジタルマスフローコントローラー CMQ-Vシリーズ FLOW METER 特 長 ■μFセンサを利用した、0.3秒以内の超高速制御を実現した マスフローコントローラーです(J/Kタイプでは0.7秒以内)。 ■専用ACアダプタを用意しておりますので、実験室などでコ ン セ ン ト に つ な ぐ だ け で お 使 い 頂 け ま す(AC100~ 240V)。 ■標準ガスモデル1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、他の ガス種切替機能にて設定してご使用頂けます。 ■パソコンローダに対応しています。各種設定パラメータを ダウンロードできる他、制御トレンドデータを収集できま す。 ■高精度モデルもご用意可能です。 商品コード 区分 型式 レンジ(Sl/min) 価格(円) 65-0041 6 MQV9500BSRN000000 0.5 170,000 65-0042 6 MQV0005BSRN000000 5 170,000 65-0043 6 MQV0050BSRN000000 50 170,000 65-0044 6 MQV0200JSRN000000 200 313,000 65-0010 6 81446681-001 専用コネクタ付ケーブル 2m 3,000 65-0045 6 81446957-001 専用ACアダプタ(AC100V) 8,000 ※レンジは20℃、1気圧換算。 型式 MQV9500B MQV0005B MQV0050B MQV0200J アナログ出力レンジ DC 0~5V/1~5V/0~20mA/4~20mA(切替可能) 積算 表示 表示範囲 0.00~999,999.99L 0.0~9,999,999.9L 0~99,999,999L 0.001~99,999.999m³ 表示分解能 0.01L 0.1L 1L 0.01m³ アラーム、 イベント出力 アラーム出力:1点、イベント出力:2点 (DC30V、30mA MAX…オープンコレクタ 非絶縁出力) 定格電源 DC 24V 消費電流:300mA MAX DC24V 消費電流: 400mA MAX 接ガス部材質 SUS316、PTFE、フッ素ゴム 接続方式 Rc1/4 Rc1/2 取付け姿勢 水平取付け、ただし設定表示部面が下向きにならないこと 外寸法(mm) W137×D37×H130 W200×D50×H151 型式 MQV9500B MQV0005B MQV0050B MQV0200J 標準対応ガス種類 空気、窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス(CO₂)、都市ガス13A(LNG) メタン100%、プロパン100%、ブタン100% 精度 (標準温度、標準差圧にて) ±0.5%FS(0%FS≦Q≦50%FS) ±1%FS(50%FS<Q≦100%FS) ±0.5%FS(0%FS≦Q≦40%FS) ±1%FS(40%FS<Q≦80%FS) ±1.5%FS(80%FS<Q≦100%FS) 標準差圧(kPa) 200 150 200 200 必要差圧(kPa) 5 100 耐圧(MPa) 1 許容動作温度範囲 ー10~+60℃ 許容動作湿度範囲 10~90%rh(ただし、凍結なきこと) 流量 設定 設定方法 ①キー入力②外部アナログ入力③専用ローダ通信④RS-485通信(3線式) 外部アナログ入力 入力レンジ:DC 0~5V/1~5V/0~20mA/4~20mA(切替可能) 気体用マスフローメーター CMSシリーズ FLOW METER 特 長 ■μFセンサを利用し、高精度、高分解能、ワイドレンジを実現 した気体質量流量計。 ■標準ガスモデル1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、プロ パンなどのガス種を切替して使用可能(ガス種によって計 測レンジが異なります)。 ■瞬時/積算流量表示、アナログ出力、積算パルス出力、イベン ト出力2点、アナログ出力ガスケーリング機能。 商品コード 区分 型式 レンジ(Sl/min) 本体材質 価格(円) 65-0003 6 CMS0020BSRN200000 20 SUS 77,000 65-0004 6 CMS0050BSRN200000 50 SUS 77,000 65-0005 6 81446594-006 専用コネクタ付ハーネス 5m 4,000 65-0013 7 81446594-030 ACアダプタ接続ハーネス 4,000 65-0045 6 81446957-001 ACアダプタ 8,000 ※レンジは20℃、1気圧空気換算。 ※ハーネスは本体とセットでご注文下さい。 ※他にもレンジ0.5~500Sl/minのもの、水素等対応モデルもあります。  お問合せ下さい。 出力信号 (瞬時流量出力) DC 0~5V/1~5V/4~20mA選択可能 イベント出力 オープンコレクタ出力 2点 イベント機能 瞬時流量上限/下限、積算カウントアップ、逆積算カウントダウン 積算パルス出力(イベント2のみ)流量データシリアル出力(イベント1)より選択可能 外部接点入力 積算カウントリセット専用入力:無電圧接点入力 1点 電気接続 専用コネクタ付ハーネス(別売部品) 表示部 7セグメントLED4桁/瞬時流量・積算流量の切替表示 外寸法(mm) W91×D37×H69.1 質量(g) 約800 型式 CMS0020 CMS0050 対応ガス種類 空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A (LNGペース)、メタン、プロパン、ブタン100% 計測精度 20℃,1atmにて(SUSモデル) ±3%RD±1digit(4~20L/min) ±3%RD±1digit(5~50L/min) 最小表示値(L/min) 0.1 表示分解能(L/min) 0.1 使用温度範囲(℃) 0~+50(ただし精度保証は+10~+35℃) 使用湿度範囲 10~90%rh(ただし、結露なきこと) 接続口径 Rc1/4 本体材質 SUS303及びSUS316 使用圧力範囲(MPa) ー0.07~+1.0 耐圧(MPa) 1.5 取付け姿勢 水平、流れ方向 左→右 定格電圧 DC 12~24V サンプリング周期 100ms±10ms 関連マーク986 マークの詳細は P.857をご覧下さい 計測機器 流量計・圧力計 Flow Meter, Pressure Gauge5 6 電子天秤・ は か り 水 分 計・ 密 度 計・ 比 重 計 温 度 計・ 湿 度 計 気象計器・ 風 速 計 流 量 計・ 圧 力 計 硬 度 計・ 粘 度 計・ 回 転 計・ 膜 厚 計 テスター・ レコーダ・ タイマー・ ス ト ップ ウォ ッ チ 流 量 計 ・ 圧 力 計 融点測定 装 置 ・
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マスフローコントローラ MASS FLOW CONTROLLERS 特 長 ■微小流量から大流量(最大200SLM)まで対応したべー シックモデル。 ■±1.0%フルスケール以内の高精度、流量設定値まで1秒以 内の高速応答。 ■SEC-E40/E40MK3/E50/E50MK3は、オ ート ゼ ロ ア ジャスト機能搭載で高い信頼性。 商品コード 区分 型式 価格(円) 65-0911 8 SEC-E40MK3 99,500 65-0912 8 SEC-E50MK3 138,000 65-0913 8 SEC-E40 170,000 65-0914 8 SEC-E50 200,000 65-0915 8 SEC-E431X 260,000 65-0916 8 SEC-E441X 290,000 ※ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい。 ※・専用電源ユニット(PE-D20)、接続ケーブル(SC-EDM-1M)もご用意 がございますのでお問合せ下さい。 型式 SEC-E40/E40MK3 SEC-E50/E50MK3 SEC-E431X SEC-E441X 対応ガス種 非腐食性ガス(MK3モデルはN₂、O₂、Air、H₂、Ar、Heに対応) N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀ フルスケール流量(N₂) 10SCCM〜10SLM 20〜30SLM 50〜100SLM 200SLM 流量制御範囲 2〜100%F.S. 5〜100%F.S. 流量制度 ±1%F.S. 使用環境温度 5〜50℃(推奨温度15〜35℃) 応答性 1秒以内(T98) 直線性 ±0.5%F.S. 再現性 ±0.2%F.S. 動作差圧 50〜300kPa(10SCCM〜5SLM) 100〜300kPa(10〜30SLM) 100〜300kPa 200〜350kPa 外部リークレート 5×10− ¹⁰Pa・m³/s(He)以下 1×10− ⁹Pa・m³/s(He)以下 流量設定信号 0.1〜5VDC/2〜100%F.S. 0.25〜5VDC/5〜100%F.S. 流量出力信号 0〜5VDC 駆動電源 +15VDC ±5% 50mA ー15VDC ±5% 150mA(3VA) +15VDC ±5% 50mA ー15VDC ±5% 200mA(3.9VA) 接ガス部材質 SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス 標準継手 1/4Swagelok 3/8Swagelok ※E40MK3/E50MK3は、ガス種限定モデル(N₂、O₂、Air、H₂、Ar、Heに対応)です。 接続例 気体用流量計 FLOW METER 特 長 ■応答速度(4ms)が速く、読み値±2%の高精度、低圧力損失。 ■エアー、O₂及びN₂ガス校正、精密流量測定ができます。 ■多機能な流量、体積、圧力、温度デジタル出力。 ■流量はアナログ出力も可能。 ■NIST(米国標準技術局)トレーサブル校正証明書標準付属。 商品コード 区分 型式 校正ガス 外寸法(mm) 価格(円) 65-0891 7 4140 空気、O₂ W127×D49×H32 172,000 65-0892 7 4143 172,000 65-0893 7 4040 W182×D63×H53 186,000 65-0894 7 4043 186,000 65-0895 7 4045 186,000 型式 4140 4143 4040 4043 4045 流量 測定範囲 0.01~20 Std L/min 0~300 Std L/min 0~200 Std L/min 0~300 Std L/min 測定精度 ±2%または0.005 Std L/minの大きい方 ±2%または0.05 Std L/minの大きい方 インレット/ アウトレット 直径 6.4mm (1/4インチ) 9.525mm (3/8インチ) 22mm ISOテーパー 12.7mm (1/2インチ) 19.1mm (3/4インチ) 表示単位 L/min、Std L/min、cm³/min、Std cm³/min L/min、Std L/min 体積測定範囲 0.01~99.9L 体積測定精度 読み値の2% 圧力測定範囲 50~199kPa 圧力測定精度 ±1kPa 温度測定範囲 0~+50℃ 温度測定精度 ±1℃(流量 1 Std L/min以上時) アナログ出力(流量のみ) 0~10 VDC(RS-232よりスパン調整可) 電源 7.5 VDC±1.5V、300mA(最大) 付属品 ACアダプタ、RS-232及びアナログインターフェイスケーブル、フィルター、取扱説明書、シリアルコマンドセットマニュアル、英文NISTトレーサブル校正証明書 4040 4140 ※価格はすべて税抜き価格です。消費税は含まれておりません。 987 計測機器 流量計・圧力計 5Flow Meter, Pressure Gauge 6 流 量 計 ・ 圧 力 計 電子天秤・ は か り 水 分 計・ 密 度 計・ 比 重 計 温 度 計・ 湿 度 計 気象計器・ 風 速 計 流 量 計・ 圧 力 計 硬 度 計・ 粘 度 計・ 回 転 計・ 膜 厚 計 テスター・ レコーダ・ タイマー・ ス ト ップ ウォ ッ チ 融点測定 装 置 ・

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