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マスフローコントローラー FLOWMETER特 長■コンパクト＆ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラーです。■改良型定電流温度差検出方式の流量センサを搭載し、高速応答を実現。■安全方向動作のノーマリクローズバルブを採用。■低差圧仕様もあります（オプション）。商品コード区分型式流量レンジ①耐圧価格（円）65-08316MODEL366010～500ml980kPa94,00065-08326MODEL36601～5L94,00065-08336MODEL366010～20L94,000①流量レンジは設定できる最大流量レンジです。ご注文の際はこのレンジ内で、最大流量をご指定下さい。※流体名Air、N₂、O₂、Ar、CO₂、H₂、Heよりご指定下さい（その他のガス種につきましてはお問合せ下さい）。※上記規格以外は別途お見積りになります。※電源ユニットは別途ご購入下さい。コンパクトリードアウトユニットCR-400をおすすめします。流量レンジ（N₂換算）10SCCM～20SLM制御範囲2～100％F.S.精度±1.0％F.S.（25℃）動作差圧5SLM以下：50～300kPa 5SLM以上：100～300kPa使用温度＋5～＋45℃（精度保証：＋15～＋35℃）接ガス部材質ボディ：SUS316 バルブシート・シール材：フッ素ゴム継手標準：1/4SWLコンパクトリードアウトユニット FLOWMETER特 長■マスフローコントローラー、マスフローメーターとケーブル一本で接続することで、流量の計測・制御といったマスフローの基本機能をお使い頂ける様になる便利なユニット。■外部制御端子を背面に装備し、遠隔操作も可能。商品コード区分型式品名価格（円）65-08206CR-400リードアウトユニット88,00065-08197CP-STD1-1mケーブル1m8,000マスフロー制御機能流量設定、バルブ強制開閉、ゼロカットマスフロー入出力DC0～5Vマスフロー供給電源±15VDC（300mA）表示桁瞬時流量：4桁、積算流量：8桁（上位・下位4桁毎切替）表示精度±0.1％F.S.±1digit以内（瞬時）外部制御機能背面入力端子：アナログ信号、RS-485（半二重）消費電力約25W電源AC85〜264V48〜440㎐外寸法・重量W73×D119.5×H73mm・約400g※一部旧型式のマスフローで、正常に動作しなかったり、特定の機能が使用できないものがございます。3660シリーズ以外のマスフロー、及び他社製品との接続に関しては、事前にご確認下さい。デジタルマスフローコントローラーFLOWMETER特 長■マルチガス対応で1台のマスフローコントローラーで複数のガス種の流量制御が可能。■マルチレンジ対応でFS流量を自由に変更することができる（FS：最大流量）。■高精度、高速応答（全領域1秒以内）。商品コード区分型式価格（円）65-08356DF-200C220,000対象ガスN₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂流量レンジ（FS）マルチレンジ：10/30/50/100/300/500SCCM、1/3/5/10SLM精度（N₂基準）±1.0％RD（＞35％F.S.） ±0.35％F.S.（≦35％F.S.）動作差圧50〜300kPa（Ar、CO₂：100〜300kPa）使用温度＋5〜＋50℃接ガス部材質SUS316、SUS316L、磁性ステンレス、Ni、PTFE、PcTFE、フッ素ゴム継手標準：1/4F900、1/4UJR、Rc1/4関連マーク984マークの詳細はP.857をご覧下さい計測機器流量計・圧力計FlowMeter,PressureGauge56電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ流量計・圧力計融点測定装置
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表示設定器付マスフローコントローラー/メーターFLOWMETER特 長■ハイリフトアクチュエータにより大流量を小さなボディで実現。■表示設定器搭載でDC24V単一電源のみで動作が可能。■RS232C/RS485通信機能、積算機能を標準装備（選択）。■14ビットコンバータ搭載により4・1/2桁での表示・操作が可能。■センサ発熱部がガスと非接触の為、可燃性ガスの流量制御が可能。■取付姿勢を選ばない。■SV設定に加え、5種類のパターン設定が可能。■オートゼロ、オートクローズ機能搭載。商品コード区分型式品名最大流量レンジ価格（円）65-007168500MCマスフローコントローラー10～300㎖150,00065-007268500MC500㎖～20L150,00065-007368500MMマスフローメーター10～300㎖100,00065-007468500MM500㎖～20L100,00065-00756PSK-85-24V専用ACアダプタ-12,900※上記は一体型、継手Rc1/4タイプです。上記規格以外は別途お見積りになります。ご注文時は、流体名、最大流量（流量レンジ内で）入・出力①0～5V②4～20mA選択通信方法①RS232C②RS485選択圧力（耐圧、動作差圧内で）上記を必ずご指定下さい。流量出力出力範囲①0～5V②4～20mA （任意指定）流量表示表示方法7セグメントLED4桁 積算表示0000～9999指示精度±1％アラーム出力数アラーム出力：2 （オープンコレクタ出力 MAX35V：50mA）分解能1mV（1digit）通信通信形式RS232C/RS485電源定格DC24V 消費電流300mAMAX許容電源電圧範囲DC24V±10％（リップル5％）接ガス部材質SUS316L、フッ素ゴム、PTFE、SUS316、ネオプレンＴＭ（オプション）継手Rc1/4制御制御範囲2～100％F.S.応答性※0→100％F.S. 2秒以下（100％F.S.設定時及び設定-設定時）精度±1.0％F.S.（at25℃）再現性±0.5％F.S.（at25℃）圧力耐圧980kPa動作差圧※F.S.≦5SLM：50～300kPa 5＜F.S.≦20SLM：100〜300kPa低差圧オプション2～149kPa温度使用温度5～45℃精度保証温度15～35℃ ±0.1％F.S./℃湿度許容動作湿度10～90％（但し結露しないこと）流量設定設定方法※①標準キー入力②外部設定入力③パターンキー入力（5パターン）設定入力※①0～5V ②4～20mA （任意指定）※印はマスフローコントローラのみの仕様です。特 長表示器付ローコストマスフローメーターMASSFLOWMETER■コンパクトで軽量な表示器一体型マスフローメーター。■精密ニードルバルブの装置で、微少の流量制御・監視が可能。■表示器付のため、DC24V電源の結線のみで使用可能。■質量流量なので温度・圧力による流量補正計算不要。■表示器の流量を直読可能。商品コード区分型式①品名価格（円）65-006463810DSⅡ-Oマスフローメーター※56,00065-006563810DSⅡ-Vマスフローメーター（ニードルバルブ付）※75,00065-00666PSK-3810DSⅡ3810DSⅡ用ACアダプタ22,000※価格は流量レンジ500SCCM〜50SLMでの価格になります。その他の規格は別途お見積りになります。センサ方式熱式センサ流量レンジ（N₂換算）10SCCM～100SLM測定精度（at25℃）±2％F.S.以内（10SCCM〜20SLM） ±3％F.S.以内（21〜100SLM）使用圧力0.0〜0.5MPa（G）耐圧1.0MPa（G）接ガス部材質ボディ：SUS303、PTFEシール材：FKM オプション：ネオプレンＴＭ継手標準：Rc1/4（その他はご相談下さい）電源DC24V±5％ 100mAアラーム出力数NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格：DC30V 50mA使用温度0～＋50℃注文方法③継手はRc1/4が標準です。その他はご相談下さい（オプション）。⑤流量は10SCCM〜100SLM内で最大流量をご指定下さい。ニードルバルブ有の場合のみ、⑥＋⑦が必要です。3810DSⅡ❶❷VOVIRc1/41/4F9V：ニードルバルブ有O：ニードルバルブ無V：電圧出力1-5VI：電流出力4-20mA❸❹❺❻❽❼継手入口圧流 体校正温度出口圧流 量※価格はすべて税抜き価格です。消費税は含まれておりません。985計測機器流量計・圧力計5FlowMeter,PressureGauge6流量計・圧力計電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ融点測定装置
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