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デジタルマスフローコントローラー CMQ-VシリーズFLOWMETER特 長■μFセンサを利用した、0.3秒以内の超高速制御を実現したマスフローコントローラーです（J/Kタイプでは0.7秒以内）。■専用ACアダプタを用意しておりますので、実験室などでコンセントにつなぐだけでお使い頂けます（AC100～240V）。■標準ガスモデル1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、他のガス種切替機能にて設定してご使用頂けます。■パソコンローダに対応しています。各種設定パラメータをダウンロードできる他、制御トレンドデータを収集できます。■高精度モデルもご用意可能です。商品コード区分型式レンジ（Sl/min）価格（円）65-00416MQV9500BSRN0000000.5170,00065-00426MQV0005BSRN0000005170,00065-00436MQV0050BSRN00000050170,00065-00446MQV0200JSRN000000200313,00065-0010681446681-001 専用コネクタ付ケーブル 2m3,00065-0045681446957-001 専用ACアダプタ（AC100V）8,000※レンジは20℃、1気圧換算。型式MQV9500BMQV0005BMQV0050BMQV0200Jアナログ出力レンジDC0～5V/1～5V/0～20mA/4～20mA（切替可能）積算表示表示範囲0.00～999,999.99L0.0～9,999,999.9L0～99,999,999L0.001～99,999.999m³表示分解能0.01L0.1L1L0.01m³アラーム、イベント出力アラーム出力：1点、イベント出力：2点（DC30V、30mAMAX…オープンコレクタ 非絶縁出力）定格電源DC24V消費電流：300mAMAXDC24V消費電流：400mAMAX接ガス部材質SUS316、PTFE、フッ素ゴム接続方式Rc1/4Rc1/2取付け姿勢水平取付け、ただし設定表示部面が下向きにならないこと外寸法（mm）W137×D37×H130W200×D50×H151型式MQV9500BMQV0005BMQV0050BMQV0200J標準対応ガス種類空気、窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス（CO₂）、都市ガス13A（LNG）メタン100％、プロパン100％、ブタン100％精度（標準温度、標準差圧にて）±0.5％FS（0％FS≦Q≦50％FS）±1％FS（50％FS＜Q≦100％FS）±0.5％FS（0％FS≦Q≦40％FS）±1％FS（40％FS＜Q≦80％FS）±1.5％FS（80％FS＜Q≦100％FS）標準差圧（kPa）200150200200必要差圧（kPa）5100耐圧（MPa）1許容動作温度範囲ー10～＋60℃許容動作湿度範囲10～90％rh（ただし、凍結なきこと）流量設定設定方法①キー入力②外部アナログ入力③専用ローダ通信④RS-485通信（3線式）外部アナログ入力入力レンジ：DC0～5V/1～5V/0～20mA/4～20mA（切替可能）気体用マスフローメーター CMSシリーズFLOWMETER特 長■μFセンサを利用し、高精度、高分解能、ワイドレンジを実現した気体質量流量計。■標準ガスモデル1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、プロパンなどのガス種を切替して使用可能（ガス種によって計測レンジが異なります）。■瞬時/積算流量表示、アナログ出力、積算パルス出力、イベント出力2点、アナログ出力ガスケーリング機能。商品コード区分型式レンジ（Sl/min）本体材質価格（円）65-00036CMS0020BSRN20000020SUS77,00065-00046CMS0050BSRN20000050SUS77,00065-0005681446594-006 専用コネクタ付ハーネス 5m4,00065-0013781446594-030 ACアダプタ接続ハーネス4,00065-0045681446957-001 ACアダプタ8,000※レンジは20℃、1気圧空気換算。※ハーネスは本体とセットでご注文下さい。※他にもレンジ0.5～500Sl/minのもの、水素等対応モデルもあります。 お問合せ下さい。出力信号（瞬時流量出力）DC0～5V/1～5V/4～20mA選択可能イベント出力オープンコレクタ出力 2点イベント機能瞬時流量上限/下限、積算カウントアップ、逆積算カウントダウン積算パルス出力（イベント2のみ）流量データシリアル出力（イベント1）より選択可能外部接点入力積算カウントリセット専用入力：無電圧接点入力 1点電気接続専用コネクタ付ハーネス（別売部品）表示部7セグメントLED4桁/瞬時流量・積算流量の切替表示外寸法（mm）W91×D37×H69.1質量（g）約800型式CMS0020CMS0050対応ガス種類空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A（LNGペース）、メタン、プロパン、ブタン100％計測精度20℃，1atmにて（SUSモデル）±3％RD±1digit（4～20L/min）±3％RD±1digit（5～50L/min）最小表示値（L/min）0.1表示分解能（L/min）0.1使用温度範囲（℃）0～＋50（ただし精度保証は＋10～＋35℃）使用湿度範囲10～90％rh（ただし、結露なきこと）接続口径Rc1/4本体材質SUS303及びSUS316使用圧力範囲（MPa）ー0.07～＋1.0耐圧（MPa）1.5取付け姿勢水平、流れ方向 左→右定格電圧DC12～24Vサンプリング周期100ms±10ms関連マーク986マークの詳細はP.857をご覧下さい計測機器流量計・圧力計FlowMeter,PressureGauge56電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ流量計・圧力計融点測定装置
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マスフローコントローラMASSFLOWCONTROLLERS特 長■微小流量から大流量（最大200SLM）まで対応したべーシックモデル。■±1.0%フルスケール以内の高精度、流量設定値まで1秒以内の高速応答。■SEC-E40/E40MK3/E50/E50MK3は、オートゼロアジャスト機能搭載で高い信頼性。商品コード区分型式価格（円）65-09118SEC-E40MK399,50065-09128SEC-E50MK3138,00065-09138SEC-E40170,00065-09148SEC-E50200,00065-09158SEC-E431X260,00065-09168SEC-E441X290,000※ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい。※専用電源ユニット（PE-D20）、接続ケーブル（SC-EDM-1M）もご用意がございますのでお問合せ下さい。型式SEC-E40/E40MK3SEC-E50/E50MK3SEC-E431XSEC-E441X対応ガス種非腐食性ガス（MK3モデルはN₂、O₂、Air、H₂、Ar、Heに対応）N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀フルスケール流量（N₂）10SCCM〜10SLM20〜30SLM50〜100SLM200SLM流量制御範囲2〜100%F.S.5〜100%F.S.流量制度±1%F.S.使用環境温度5〜50℃（推奨温度15〜35℃）応答性1秒以内（T98）直線性±0.5%F.S.再現性±0.2%F.S.動作差圧50〜300kPa（10SCCM〜5SLM） 100〜300kPa（10〜30SLM）100〜300kPa200〜350kPa外部リークレート5×10−¹⁰Pa・m³/s（He）以下1×10−⁹Pa・m³/s（He）以下流量設定信号0.1〜5VDC/2〜100％F.S.0.25〜5VDC/5〜100％F.S.流量出力信号0〜5VDC駆動電源＋15VDC±5%50mAー15VDC±5%150mA（3VA）＋15VDC±5%50mAー15VDC±5%200mA（3.9VA）接ガス部材質SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス標準継手1/4Swagelok3/8Swagelok※E40MK3/E50MK3は、ガス種限定モデル（N₂、O₂、Air、H₂、Ar、Heに対応）です。接続例気体用流量計 FLOWMETER特 長■応答速度（4ms）が速く、読み値±2％の高精度、低圧力損失。■エアー、O₂及びN₂ガス校正、精密流量測定ができます。■多機能な流量、体積、圧力、温度デジタル出力。■流量はアナログ出力も可能。■NIST（米国標準技術局）トレーサブル校正証明書標準付属。商品コード区分型式校正ガス外寸法（mm）価格（円）65-089174140空気、O₂W127×D49×H32172,00065-089274143172,00065-089374040W182×D63×H53186,00065-089474043186,00065-089574045186,000型式41404143404040434045流量測定範囲0.01～20StdL/min0～300StdL/min0～200StdL/min0～300StdL/min測定精度±2％または0.005StdL/minの大きい方±2％または0.05StdL/minの大きい方インレット/アウトレット直径6.4mm（1/4インチ）9.525mm（3/8インチ）22mmISOテーパー12.7mm（1/2インチ）19.1mm（3/4インチ）表示単位L/min、StdL/min、cm³/min、Stdcm³/minL/min、StdL/min体積測定範囲0.01～99.9L体積測定精度読み値の2％圧力測定範囲50～199kPa圧力測定精度±1kPa温度測定範囲0～＋50℃温度測定精度±1℃（流量1StdL/min以上時）アナログ出力（流量のみ）0～10VDC（RS-232よりスパン調整可）電源7.5VDC±1.5V、300mA（最大）付属品ACアダプタ、RS-232及びアナログインターフェイスケーブル、フィルター、取扱説明書、シリアルコマンドセットマニュアル、英文NISTトレーサブル校正証明書40404140※価格はすべて税抜き価格です。消費税は含まれておりません。987計測機器流量計・圧力計5FlowMeter,PressureGauge6流量計・圧力計電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ融点測定装置
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