17-18年度版 EYELA総合カタログ 150-151(150-151)

概要

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7 6 8 9 10 11 12 13 14 15 16 濃 縮 装 置 冷 却 トラップ装置 減 圧 装 置 凍結・噴霧 乾 燥 機 合 成 装 置 撹 拌 機 ガラス反応容器 ガラスコーティング 振 盪 機 定 量 送 液 ポ ン プ 液体クロマト グ ラ フ 培 養 装 置 滅 菌 装 置 研 究 補 助 準 備 機 器 5 5 1 3 4 乾 燥 器 電 気 炉 純 水 製 造 装 置 2 恒 温 器 低 温 槽 恒 温 槽 低温・恒温 水循環装置 ( チ ラ ー ) 低 温 ・ 恒 温 水 循 環 装 置 ( チ ラ ー ) ク ー ル エ ー ス 150製品のご使用の前には「取扱説明書」を必ずお読みください。  ●表示の価格には消費税は含まれておりません。 製品に関するお問合せは アイラ・カスタマーセンター 関連情報はこちらをご参照ください。 寸法図 Webにて 掲載 オプション ■➡ P.177 低温用熱媒体 ■➡ P.123 機能・仕様一覧 ■➡ P.127 使い勝手のよい細やかな設計 純水循環に対応(CA-2600F・F2型) POINT POINT バイパスバルブを装備 外部温 度センサ端 子、温度記録計出力 端子、アラーム出力 端子を装備していま す。2600S型は電源、 冷凍機、循環ポンプ の遠隔操作端子も 装備しています。 外部温度センサ、出 力リード線、遠隔操 作リード 線 はオプ ションです。 圧損失の高い流路 に循環しても槽内の 撹拌効率が低下し ないよう、装置側面 にバイパスバルブを 標 準 付 属していま す。 各種出力端子を装備 ●漏電・過電流ブレーカ ●循環ポンプサーマルプロテクター  循環ポンプは過負荷(異物の吸引、高い粘度、周 囲温度の上昇など)になると停止します。負荷が 解消すると運転を再開します。 ●温度上昇アラーム  槽内温度が「設定温度+5.0℃以上」になるとア ラームを出力します。制御は継続します。 ●温度調節器自己診断機能  温度調節器の異常を検知するとアラームを出力 します。異常の原因がなくなると自動復帰します。 ●センサ異常 ●冷凍機オーバーロード ●冷凍機高圧スイッチ ●冷凍機保護タイマ ●循環水圧力異常アラーム(オプション)  循環水の圧力が上限設定値を超えると異常を検知し てアラームを出力します。 ●循環水流量低下アラーム(オプション)  循環水の流量が下限設定値を超えると異常を検 知してアラームを出力します。 充実した安全機能 接 液 部がステンレスなので、純 水 循 環( 電 気 伝 導 率 0.01mS/m(0.1μS/cm)以上)が可能で、半導体製造ライン やクリーンルーム内、静電気対策など絶縁熱媒体が必要とさ れるラインへの循環に適しています。 純水循環による使用例 ラッピング装置 スパッタ装置 CVD装置 露光装置 エッチング装置 アッシング装置 ウェハ検査装置(テスター) 射出成型機 X線回折装置 その他、クリーン ルーム内設置 をする装置 など 精密な温度調節が必要とされる各種半導体製造装置で使用され る場合、多くは純水を循環し基板やウェハを載せるステージの温度 調節をします。 ステージ 基板・ウェハ 循環水 OUT 循環水 IN オプション 製 品 名 型 式 製品コードNo. 価 格 5 1 対象機種 圧力スイッチ CA-PS4 199420 ¥41,800 CA-2600C型 流量スイッチ CA-FS2 199430 ¥88,000 圧力計 CA-P 161240 ¥20,000 流量計 CA-F 161250 ¥43,600 外部温度センサ STP-300 196730 ¥28,000 CA-2600C・ F・F2型出力リード線(1m) ROL-100 114230 ¥13,700 遠隔操作リード線(5m) RC-110 234340 ¥19,800 機種別適応ホース 製 品 名 適用温度 内 径 循環水耐圧 長さ 製品コードNo. 価 格 5 1 対象機種 保冷ホースセット -30~80℃ 15㎜ 0.1MPa 1m 113290 ¥5,000 CA-2600F型2m 143340 ¥9,900 5m 174460 ¥23,700 耐圧保冷シリコンホースセット -30~80℃ 15㎜ 0.5MPa 5m 234200 ¥58,000 CA-2600C・F・F2型 耐圧保冷ブレードホースセット 0~50℃ 235180 ¥35,000 SUS製フレキ配管セット - 呼び径13㎜ (G1/2メネジ) 0.75MPa 1m 265500 ¥7,500 CA-2600C・F・F2型 2m 265510 ¥15,400 ※CA-2600F・F2型対応のシリコンオイル、バーレルシリコーンフルード® M-2型を循環させる場合にはSUS製フレキ配管セットを使用できません。 製 品 名 製品コードNo. 価 格 5 1 対象機種 圧力計セット(特殊熱媒体用) 純水、シリコンオイルなどを循環する 際の圧力計測に使用できます。 265460 ¥50,200 CA-2600C・ F・F2型 バイパスラインセット 循環水の圧力調整用です。背圧が高い 場合のポンプの保護の役目をします。 265470 ¥26,300 データ ■冷却能力曲線 CA-2600C型 CA-2600F・F2型 10 1000 2000 3000 1500 2500 3500 302015 25 35 液温(℃) 冷却能力(W) CA-2600F2型   50Hz 冷却能力 大   50Hz 冷却能力 小   60Hz 冷却能力 大   60Hz 冷却能力 小 CA-2600F型CA-2600C型   50Hz 冷却能力 大   50Hz 冷却能力 小   60Hz 冷却能力 大   60Hz 冷却能力 小 -10 10 1000 500 2000 3000 1500 2500 3500 4000 300 4020 液温(℃) 冷却能力(W)   50Hz 冷却能力 大   50Hz 冷却能力 小   60Hz 冷却能力 大   60Hz 冷却能力 小 5 10 15 20 25 30 0 揚程(m) 条件・AC200V   ・水条件・AC200V   ・水 CA-2600 CA-2600 CA-2600 CA-2600 ■外部循環能力 CA-2600C・F・F2 曲線 型 CA-2600F・F2型 10 1000 2000 3000 1500 2500 3500 302015 25 35 液温(℃) 冷却能力(W) CA-2600F2型   50Hz 冷却能力 大   50Hz 冷却能力 小   60Hz 冷却能力 大   60Hz 冷却能力 小 CA-2600F型2600C型   50Hz 冷却能力 大   50Hz 冷却能力 小   60Hz 冷却能力 大   60Hz 冷却能力 小 10 300 4020 液温(℃) 50Hz 冷却能力 大 50Hz 冷却能力 小   60Hz 冷却能力 大   60Hz 冷却能力 小 5 5 10 15 20 25 30 0 10 15  流量揚程(m) 条件・AC200    ・液温2 条件・AC200V   ・水条件・AC200V   ・水 CA-2600C型 50Hz CA-2600C型 60Hz CA-2600F2型 50Hz CA-2600F2型 60Hz ■外部循環能力曲線 CA-2600C・F・F2型 CA-2600F CA-2600F CA-2600F・F2型 10 1000 2000 3000 1500 2500 3500 302015 25 35 液温(℃) 冷却能力(W) CA-2600F2型   50Hz 冷却能力 大   50Hz 冷却能力 小   60Hz 冷却能力 大   60Hz 冷却能力 小 CA-2600F型   50Hz 冷却能力 大   50Hz 冷却能力 小   60Hz 冷却能力 大   60Hz 冷却能力 小 30 40 液温(℃) z 冷却能力 大 z 冷却能力 小 5 5 10 15 20 25 30 0 10 15 20  流量(L/min) 揚程(m) 条件・AC200V    ・水 CA-2600C型 50Hz CA-2600C型 60Hz CA-2600F2型 50Hz CA-2600F2型 60Hz ■外部循環能力曲線 CA-2600C・F・F2型 CA-2600F型 50Hz CA-2600F型 60Hz 条件・AC200V   ・液温20℃、水 ・
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5 5 7 6 8 9 10 11 12 13 14 15 16 1 3 4 乾 燥 器 電 気 炉 純 水 製 造 装 置 2 恒 温 器 低 温 槽 恒 温 槽 低温・恒温 水循環装置 ( チ ラ ー ) 濃 縮 装 置 冷 却 トラップ装置 減 圧 装 置 凍結・噴霧 乾 燥 機 合 成 装 置 撹 拌 機 ガラス反応容器 ガラスコーティング 振 盪 機 定 量 送 液 ポ ン プ 液体クロマト グ ラ フ 培 養 装 置 滅 菌 装 置 研 究 補 助 準 備 機 器 低 温 ・ 恒 温 水 循 環 装 置 ︵ チ ラ ー ︶ ク ー ル エ ー ス 149 http://www.eyela.co.jp ●表示の価格には消費税は含まれておりません。 冷却水循環装置 クールエース Low Temp. Circulation Bath CA-2600C・2600F・2600F2型 Cooling water capacity 2850W. For industrial sector, to meet the need built-in analyzer 冷却能力2850W。産業分野、分析装置組込みのニーズに対応 NEW NEW 型 式 CA-2600C CA-2600F CA-2600F2 製 品 コ ー ド No. 265660 265590 265600 冷 却・循 環 方 式 空冷・密閉系向循環 対 応 循 環 水 上水、エチレングリコール、 ナイブライン® 上水、純水(電気伝導率0.01mS/m(0.1μS/cm)以上)、シリコンオイル、バーレルシリ コーンフルード® M-2型、エチレングリコール、ナイブライン® 性 能 温 度 設 定 範 囲 −10∼35℃(ヒータなし) 10∼30℃(ヒータなし) 温 度 調 節 精 度 ±2℃以下 冷却能力 (at液温) 20℃ 2800W(2408kcal/h) 3000W(2580kcal/h) 2900W(2494kcal/h) 10℃ 2350W(2021kcal/h) 2500W(860kcal/h) 2400W(2064kcal/h) 外 部 循 環 能 力 ( 5 0 / 6 0 H z ) 最大流量27/30L/min 最大流量13.5/16L/min 最大流量17.5/18.5L/min 最大揚程20/28m 最大揚程10/14m 最大揚程20.5/25m 機 能 温 度 制 御 キャピラリーチューブ能力切替制御+冷凍機ON-OFF制御 温 度 設 定・表 示 シートキー入力・デジタル表示 安 全 機 能 漏電・過電流ブレーカ、冷凍機高圧圧力スイッチ、オーバーロードリレー保持回路、冷凍機保護タイマ、 温度調節器自己診断機能、循環ポンプサーマルプロテクター 付 属 機 能 温度表示補正機能、緊急停止ボタン 流量調節バルブ、バイパスバルブ 流量ストップバルブ、バイパスラインセット(オプション) 外 部 入・ 出 力 アラーム出力端子:無電圧a接点 AC250V/DC30V Max.3A、遠隔操作入力端子:無電圧接点 構 成 冷 凍 機 ・ 冷 媒 空冷式 出力1.1kW・R404A 冷 却 コ イ ル 銅ニッケルメッキ SUS 304 規 格 外部循環ノズル 吐出口・戻り口共 外径16㎜ホース口(Rc1/2) 水槽材質・槽内寸法(㎜)・容量 SUS 304・内径280×270H・16.5L(液量14L) SUS 304・内径280×270H・16.5L(液量12.5L)SUS 304・内径280×270H・16.5L(液量12.0L) 使 用 周 囲 温 度 範 囲 5∼35℃ 外 寸 法(㎜)・質 量 450(550)W×555D×1010(1045)H・約105kg 450W×515D×1236H・約113kg 450W×515D×1236H・約117kg 電源入力・電源電圧 16A・3.2kVA・AC200V 単相 50/60Hz 16A・3.2kVA・AC200V 単相 50/60Hz 16A・3.2kVA・AC200V 単相 50/60Hz 電源ユーティリティ AC200V 単相 20A容量 価    格 2 ¥600,000 ¥650,000 ¥720,000 ※性能は室温20℃、上水、定格電源電圧、50Hz、無負荷時での値です。※電源電圧の性能保証はAC200V +10%以内、−5%以内です。 ※温度設定が−10.0∼0℃未満の場合は冷凍機がON-OFF制御になり、冷凍機保護タイマが動作するので、使用条件(室温・負荷・循環水の種類・槽内の撹拌状態等)により 温度調整精度が異なります。※シリコンオイルは液温10℃時に粘度10mPa・S以下の物性の物をご使用ください。 ※( )内の寸法は突起物を含みます。 電源プラグは付属していません。 運賃等が必要です。別途お見積りいたします。 ■水道圧と同程度の吐出圧0.2MPaの循環ポンプを内蔵していま す。配管径が細い場合や循環先までの揚程や距離がある場合な どに適しています。 ■緊急停止ボタン、外部から制御できる遠隔操作端子を装備し、産 業機械分野でのさまざまなニーズに対応します。 ■バイパスバルブを標準装備しているので、吐出圧の調整が行な えます。配管抵抗が高い流路には、ポンプの保護にも役立ちま す。 ■純水(電気伝導率0.01mS/m(0.1μS/cm)以上)、シリコンオイル (at液温10℃ 粘度10mPa・S以下)を循環できます。 ■配管内にイオン交換樹脂を通して徹底した水質管理が必要とさ れる用途に適しています。 ■不活性で電気絶縁性が高いシリコンオイル、バーレルシリコー ンフルード® が循環できるので、静電気を嫌う循環先や半導体 製造装置の温度管理などに適しています。 ■CA-2600F2型は水道と同程度の吐出圧0.2MPaの循環ポンプを 内蔵しています。配管径が細い場合や循環先までの揚程や距離 がある場合、エルボやゲートバルブなどが配管内に複数あり圧 力損失が高くなることが想定される流路などに適しています。 CA-2600C型 CA-2600F・F2型 +35℃+35℃ −10℃−10℃ +80℃+30℃ +10℃+10℃ ・

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