17-18年度版 EYELA総合カタログ 156-157(156-157)

概要

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7 6 8 9 10 11 12 13 14 15 16 濃 縮 装 置 冷 却 トラップ装置 減 圧 装 置 凍結・噴霧 乾 燥 機 合 成 装 置 撹 拌 機 ガラス反応容器 ガラスコーティング 振 盪 機 定 量 送 液 ポ ン プ 液体クロマト グ ラ フ 培 養 装 置 滅 菌 装 置 研 究 補 助 準 備 機 器 5 5 1 3 4 乾 燥 器 電 気 炉 純 水 製 造 装 置 2 恒 温 器 低 温 槽 恒 温 槽 低温・恒温 水循環装置 ( チ ラ ー ) 低 温 ・ 恒 温 水 循 環 装 置 ( チ ラ ー ) 低 温 恒 温 水 循 環 装 置 156製品に関するお問合せは アイラ・カスタマーセンター製品のご使用の前には「取扱説明書」を必ずお読みください。  ●表示の価格には消費税は含まれておりません。 関連情報はこちらをご参照ください。 寸法図 Webにて 掲載 オプション ■➡ P.177 低温用熱媒体 ■➡ P.123 機能・仕様一覧 ■➡ P.127 純水循環に対応(C・D型) POINT 緊急停止、アラーム出力 POINT 消費電力量(Wh) 運転開始2時間で大幅な 省エネを実現(当社比) NCC-1120A型 5000 4000 3000 2000 1000 0 20 40 60 80 100 120 時間(min) NCC-3000A型 条件:室温20℃、AC200V 50Hz 設定25℃ 負荷860W 省エネ効果 約77% ■消費電力量の比較(NCC-3000A型と従来機種NCC-1120A型) ■操作部 接液部がステンレスなので、純水循環(電気伝導度0.1mS/m(1µS/cm) 以上)が可能で、半導体製造ラインやクリーンルーム内、静電気対策 など絶縁熱媒体が必要とされるラインへの循環に適しています。 純水循環による使用例 ラッピング装置 スパッタ装置 CVD装置 露光装置 エッチング装置 アッシング装置 ウェハ検査装置(テスター) 射出成型機 X線回折装置 その他、クリーン ルーム内設置 をする装置 など 精密な温度調節が必要とされる各種半導体製造装置で使用される場合、 多くは純水を循環し基板やウェハを載せるステージの温度調節をします。 ステージ 基板・ウェハ 循環水 OUT 循環水 IN データ オプション 保冷ホースセット 適用温度­30〜80℃(NCC-3000A・3000C・3100A・3100C型用) チューブ内径 循環水耐圧 長さ 製品コードNo. 価 格 5 1 12.0㎜ 0.1MPa 1m 113280 ¥ 4,200 2m 143330 ¥ 8,300 5m 174440 ¥20,000 耐圧保冷シリコンホースセット 適用温度­30〜80℃(NCC-3000B・3000D・3100B・3100D型用) チューブ内径 循環水耐圧 長さ 製品コードNo. 価 格 5 1 12.0㎜ 0.5MPa 5m 234170 ¥49,000 耐圧保冷ブレードホースセット 適用温度0〜50℃(NCC-3000B・3000D・3100B・3100D型用) チューブ内径 循環水耐圧 長さ 製品コードNo. 価 格 5 1 12.0㎜ 0.5MPa 5m 235150 ¥30,000 ※1日24時間、年間365日の連続終夜運転の条件です。 ※CO2の削減量は、「平成22年度電気事業者別排出係数の公表について」(平成24年1月 17日 環境省)中の東京電力㈱の排出係数0.000374(t-CO2/kWh)を使用しています。 ※電気料金は11円/kWh(契約電力AC200V 1500W/h 使用量550kW以上)での計算で す。 (参考)1人あたりの1ヶ月のCO2排出量は、全国平均で813kgと報告されていますが、NCC- 3000・3100型シリーズによる年間排出量は、これを大きく上回ります。 従来機種NCC-1120A型 CO2 排出量(kg/年) 7431 電気 料金(年) ¥218,579 Max. 省エネ効果 約77%NCC-3000A型 1686 ¥ 49,617 削減量(kg/年)5745 削減額(年) ¥168,962 CO2排出量、電気料金比較データ ■ランニングコスト比較 ■冷却能力曲線 −20 −10 液温(℃) 90 冷却能力(W) 0 10 20 30 40 50 60 70 80 2500 3000 1000 1500 2000 0 500 NCC-3000A型 NCC-3000B型 NCC-3000C型 NCC-3000D型 NCC-3100A・3100C型 NCC-3100B・3100D型 条件・AC200V 単相 50Hz   ・室温 20℃   ・循環量 最大   ・循環液 10∼80℃:上水        10∼10℃:ナイブライン® Z-1型              50wt%(A・C型)、35wt%(B・D型) 揚程(m) 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 流量(L/min) 2121 20 18 16 14 12 10 8 66 4 2 NCC-3000B・3000D・3100B・3100D型 NCC-3000A・3000C・3100A・3100C型 条件・AC200V 単相 50Hz   ・循環液 上水   ・室温 20℃ ■外部循環能力曲線 緊急停止ボタン 配管中の液漏れや循環先の異常時など、ボタ ンひとつで装置を緊急停止させます。 アラーム出力端子 チラーが異常状態になった際に、循環先の装 置にアラームを接点出力します。 圧力計 NCC-P2型(測定範囲0〜0.4MPa) 使用温度範囲5〜50℃(水、純水、低温用熱媒体専用、結露なきこと) 製品コードNo.255410 価 格¥46,000 5 1 流量計 NCC-F2型(測定範囲2〜30L/min) 使用温度範囲5〜50℃(水、純水、無色の低温用熱媒体専用、結露なきこと) 製品コードNo.255400 価 格¥55,600 5 1 流量調整バルブ 製品コードNo.255420 価 格¥13,200 5 1 最低流量を1L/minまで絞ることが できます。配管抵抗が高く循環液 が少ない場合や流量を絞って循環 したい場合に使用できます。 製品コードNo.260590 価 格¥56,000 5 1 バイパスライン ・
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5 5 7 6 8 9 10 11 12 13 14 15 16 1 3 4 乾 燥 器 電 気 炉 純 水 製 造 装 置 2 恒 温 器 低 温 槽 恒 温 槽 低温・恒温 水循環装置 ( チ ラ ー ) 濃 縮 装 置 冷 却 トラップ装置 減 圧 装 置 凍結・噴霧 乾 燥 機 合 成 装 置 撹 拌 機 ガラス反応容器 ガラスコーティング 振 盪 機 定 量 送 液 ポ ン プ 液体クロマト グ ラ フ 培 養 装 置 滅 菌 装 置 研 究 補 助 準 備 機 器 低 温 ・ 恒 温 水 循 環 装 置 ︵ チ ラ ー ︶ 低 温 恒 温 水 循 環 装 置 155 http://www.eyela.co.jp ●表示の価格には消費税は含まれておりません。 Estimated 77% power consumption reduction, temperature control of -10~80°C range. 消費電力約77%カット(当社比)、−10∼80℃の温度調節範囲 空冷式 +80℃+80℃ −10℃−10℃ 空冷式 +80℃+80℃ −10℃−10℃ 水冷式 +80℃+80℃ −10℃−10℃ 低温恒温水循環装置 ユニサーモエース・エコ Low Temp. Circulator NCC-3000A・3000B・3000C・3000D・3100A・3100B・3100C・3100D型 型 式 NCC-3000A NCC-3000B NCC-3000C NCC-3000D NCC-3100A NCC-3100B NCC-3100C NCC-3100D 製 品 コ ー ド No. 251840 251850 251860 251870 251880 251890 251900 251910 冷 却 ・ 循 環 方 式 密閉系向循環 温 度 制 御 方 式 空冷・インバーター周波数制御 水冷・インバーター周波数制御 性 能 対 応 循 環 水 上水 上水と純水 上水 上水と純水 温度調節範囲・精度 −10∼80℃・±0.1∼0.2℃ 冷 却 能 力 (at 液温) 30℃ 1600W(1376kcal/h)1440W(1238kcal/h)1840W(1582kcal/h)1680W(1444kcal/h)2850W(2451kcal/h)2700W(2322kcal/h)2850W(2451kcal/h)2690W(2313kcal/h) ℃ 1230W(1057kcal/h)1070W(920kcal/h)1400W(1204kcal/h)1240W(1061kcal/h)1750W(1505kcal/h)1650W(1419kcal/h)1750W(1505kcal/h)1720W(1479kcal/h) 10℃ 660W(567kcal/h) 500W(430kcal/h) 685W(589kcal/h) 600W(516kcal/h) 730W(627kcal/h) 620W(533kcal/h) 820W(705kcal/h) 570W(490kcal/h) (50Hz) 最大流量 14.7L/min 23L/min 14.7L/min 23L/min 14.7L/min 23L/min 14.7L/min 23L/min 10.4m 20m 10.4m 20m 10.4m 20m 10.4m 20m 機 能 温 度 設 定 ・ 表 示 シートキー入力・デジタル表示、最小桁0.1℃ 安 全 機 能 温調器自己診断機能、冷凍機オーバーロード、センサ不良、冷凍機高圧スイッチ、冷凍機保護タイマ、 循環ポンプサーマルプロテクター、凍結防止流量スイッチ、インバーターアラーム、漏電・過電流ブレーカ 付 属 機 能 緊急停止ボタン、可変式独立過昇防止器 外 部 入・出 力 警報出力端子:無電圧接点(a接点)出力250V/DC30V Max.3A 構 成 ヒ ー タ 2kW(SUS 316L) 冷 凍 機・冷 媒 空冷式 出力550W・R410A 水冷式 出力550W・R410A 温 度 セ ン サ 白金測温抵抗体 Pt100Ω 規 格 外 部 循 環 ノ ズ ル 吐出口・戻り口共 外径14㎜ホース口(Rc3/8メネジ) 水 槽 容 量 3.6L(液量2.8L) 供 給 水 − 35℃以下、30L/min以上(供給水入・出口Rc1/2) 使 用 周 囲 温 度 範 囲 5∼35℃ 外   寸   法(㎜) 340W×440(452)D×850H 質 量 約53kg 約53kg 約55kg 約55kg 約49kg 約49kg 約52kg 約52kg 電 源 入 力 13.5A、2.7kVA 14A、2.8kVA 14A、2.8kVA 14.5A、2.9kVA 13.5A、2.7kVA 14A、2.8kVA 13.5A、2.7kVA 14A、2.8kVA 電 源 電 圧 AC200V 単相 50/60Hz 価         格 3 ¥505,000 ¥550,000 ¥615,000 ¥645,000 ¥580,000 ¥620,000 ¥670,000 ¥700,000 ※性能は室温20℃、上水、定格電源電圧、50Hz、無負荷時での値です。※冷却能力、外部循環能力は表示能力の±10%です。※液温を10℃以下に設定する場合は低温用熱 媒体(P.123)を使用してください。※液温0℃以下での冷却能力値は、循環液がナイブライン® 50wt%(NCC-A・C型)・ナイブライン® 35wt%(NCC-B・D型)での値です。※NCC-B・ D型で低温用熱媒体を使用する際は、循環ポンプの不具合を防止するために、エチレングリコール濃度35wt%以下またはナイブライン® 35wt%で循環してください。※流量調節バル ブは付属していません。別途オプションをご購入ください。※設定温度が10℃以下、または50∼80℃で循環量が少ない場合(約3L/min以下)は、必ずバイパスライン(オプション) をご使用ください。※( )内の寸法は突起物を含みます。 電源プラグは付属していません。 運賃等が必要です。別途お見積りいたします。 インバーターによるコンパクトエコタイプ。約77%の省エネ効果 ■従来製品(NCC-1120型)に比べ約77%の省エネ効果で、消費電 力・CO2削減に貢献します。 ■ヒータと冷凍機による精度の高い温度調節で、−10∼80℃まで 温度調節された液体を循環します。NCC-3100型シリーズは水冷 式冷凍機を採用しているので、クリーンルームや周囲温度の高 い場所での使用が可能です。 ■電子顕微鏡や分光光度計の光源、反応槽、露光装置やラッピング 装置(半導体製造装置)などの温度管理に使用できます。 ■従来機種(NCC-1420A型)に対して、装置容積を61%カット。コ ンパクトで設置しやすくなりました。 ■C・D型は純水(電気伝導度0.1mS/m(1µS/cm)以上)の循環が行 なえます。クリーンルームや半導体製造装置の温度調節に適し ています。 ■B・D型は水道圧相当の0.2MPaの吐出圧が得られる高圧ポンプ 仕様です。さらに高い吐出圧をお求めの場合は0.4MPaの吐出圧 が得られるタイプを製作いたします。お問合せください。 ■産業分野での使用を考慮して、可変式独立過昇防止器、緊急停止 ボタン、アラーム出力端子を装備しています。 ■RoHS指令に対応した製品です。 ・

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