研究実験用総合カタログ2019号 1002-1003(1004-1005)

概要

  1. 計測機器
  2. 流量計・圧力計
  1. 1002
  2. 1003

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デジタルマスフローコントローラー CMQ-Vシリーズ FLOW METER 特 長 ■μFセンサを利用した、0.3秒以内の超高速制御を実現したマ スフローコントローラーです(J/Kタイプでは0.7秒以内)。 ■専用ACアダプタを用意しておりますので、実験室などでコ ン セ ン ト に つ な ぐ だ け で お 使 い 頂 け ま す(AC100~ 240V)。 ■標準ガスモデル1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、他の ガス種切替機能にて設定してご使用頂けます。 ■パソコンローダに対応しています。各種設定パラメータを ダウンロードできる他、制御トレンドデータを収集できま す。 ■高精度モデルもご用意可能です。 商品コード 区分 型式 レンジ(Sl/min) 価格(円) 65-0041 6 MQV9500BSRN000000 0.5 170,000 65-0042 6 MQV0005BSRN000000 5 170,000 65-0043 6 MQV0050BSRN000000 50 170,000 65-0044 6 MQV0200JSRN000000 200 313,000 65-0010 6 81446681-001 専用コネクタ付ケーブル 2m 5,000 65-0045 6 81446957-001 専用ACアダプタ(AC100V) 8,000 ※レンジは20℃、1気圧換算。 型式 MQV9500B MQV0005B MQV0050B MQV0200J アナログ出力レンジ DC 0~5V/1~5V/0~20mA/4~20mA(切替可能) 積算 表示 表示範囲 0.00~999,999.99L 0.0~9,999,999.9L 0~99,999,999L 0.001~99,999.999m³ 表示分解能 0.01L 0.1L 1L 0.01m³ アラーム、 イベント出力 アラーム出力:1点、イベント出力:2点 (DC30V、30mA MAX…オープンコレクタ 非絶縁出力) 定格電源 DC 24V 消費電流:300mA MAX DC24V 消費電流: 400mA MAX 接ガス部材質 SUS316、PTFE、フッ素ゴム 接続方式 Rc1/4 Rc1/2 取付け姿勢 水平取付け、ただし設定表示部面が下向きにならないこと 外寸法(mm) W137×D37×H130 W200×D50×H151 型式 MQV9500B MQV0005B MQV0050B MQV0200J 標準対応ガス種類 空気、窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス(CO₂)、都市ガス13A(LNG) メタン100%、プロパン100%、ブタン100% 精度 (標準温度、標準差圧にて) ±0.5%FS(0%FS≦Q≦50%FS) ±1%FS(50%FS<Q≦100%FS) ±0.5%FS(0%FS≦Q≦40%FS) ±1%FS(40%FS<Q≦80%FS) ±1.5%FS(80%FS<Q≦100%FS) 標準差圧(kPa) 200 150 200 200 必要差圧(kPa) 5 100 耐圧(MPa) 1 許容動作温度範囲 ー10~+60℃ 許容動作湿度範囲 10~90%rh(ただし、凍結なきこと) 流量 設定 設定方法 ①キー入力②外部アナログ入力③専用ローダ通信④RS-485通信(3線式) 外部アナログ入力 入力レンジ:DC 0~5V/1~5V/0~20mA/4~20mA(切替可能) 気体用マスフローメーター CMSシリーズ FLOW METER 特 長 ■μFセンサを利用し、高精度、高分解能、ワイドレンジを実現 した気体質量流量計。 ■標準ガスモデル1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、プロ パンなどのガス種を切替して使用可能(ガス種によって計 測レンジが異なります)。 ■瞬時/積算流量表示、アナログ出力、積算パルス出力、イベン ト出力2点、アナログ出力ガスケーリング機能。 商品コード 区分 型式 レンジ(Sl/min) 本体材質 価格(円) 65-0003 6 CMS0020BSRN200000 20 SUS 77,000 65-0004 6 CMS0050BSRN200000 50 SUS 77,000 65-0005 6 81446594-006 専用コネクタ付ハーネス 5m 4,000 65-0013 7 81446594-030 ACアダプタ接続ハーネス 4,000 65-0045 6 81446957-001 ACアダプタ 8,000 ※レンジは20℃、1気圧空気換算。 ※ハーネスは本体とセットでご注文下さい。 ※他にもレンジ0.5~500Sl/minのもの、水素等対応モデルもあります。  お問合せ下さい。 出力信号 (瞬時流量出力) DC 0~5V/1~5V/4~20mA選択可能 イベント出力 オープンコレクタ出力 2点 イベント機能 瞬時流量上限/下限、積算カウントアップ、逆積算カウントダウン 積算パルス出力(イベント2のみ)流量データシリアル出力(イベント1)より選択可能 外部接点入力 積算カウントリセット専用入力:無電圧接点入力 1点 電気接続 専用コネクタ付ハーネス(別売部品) 表示部 7セグメントLED4桁/瞬時流量・積算流量の切替表示 外寸法(mm) W91×D37×H69.1 質量(g) 約800 型式 CMS0020 CMS0050 対応ガス種類 空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A (LNGペース)、メタン、プロパン、ブタン100% 計測精度 20℃,1atmにて(SUSモデル) ±3%RD±1digit(4~20L/min) ±3%RD±1digit(5~50L/min) 最小表示値(L/min) 0.1 表示分解能(L/min) 0.1 使用温度範囲(℃) 0~+50(ただし精度保証は+10~+35℃) 使用湿度範囲 10~90%rh(ただし、結露なきこと) 接続口径 Rc1/4 本体材質 SUS303及びSUS316 使用圧力範囲(MPa) ー0.07~+1.0 耐圧(MPa) 1.5 取付け姿勢 水平、流れ方向 左→右 定格電圧 DC 12~24V サンプリング周期 100ms±10ms 関連マーク1002 マークの詳細は P.867をご覧下さい 計測機器 流量計・圧力計 Flow Meter, Pressure Gauge5 6 電子天秤・ は か り 水 分 計・ 密 度 計・ 比 重 計 温 度 計・ 湿 度 計 気象計器・ 風 速 計 流 量 計・ 圧 力 計 硬 度 計・ 粘 度 計・ 回 転 計・ 膜 厚 計 テスター・ レコーダ・ タイマー・ ス ト ップ ウォ ッ チ 流 量 計 ・ 圧 力 計 融点測定 装 置 ・
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小型流量センサ COMPACT MASS FLOW METER ■高精度・高速応答の超小型流量センサ。消費ガス・パージガ スの流量管理に最適。 ■瞬時流量及び積算機能を搭載。 ■垂直水平どの方向にも取付けることができます。 商品コード 区分 型式 流量レンジ 分解能 価格(円) 65-0921 4 MF-FP10NH06-005-AI 0〜0.5L/min 1㎖/min 57,000 65-0922 4 MF-FP10NH06-010-AI 0〜1L/min 57,000 65-0923 4 MF-FP10NH06-020-AI 0〜2L/min 0.01L/min 57,000 65-0924 4 MF-FP10NH06-050-AI 0〜5L/min 57,000 65-0925 4 MF-FP10NH06-100-AI 0〜10L/min 57,000 65-0926 4 MF-FP10NH06-200-AI 0〜20L/min 0.1L/min 57,000 65-0927 4 MF-FP10NH06-500-AI 0〜50L/min 57,000 ※上記すべてニードルバルブ付です。 ※・ご注文時に下記仕様欄のスイッチ出力(NPN/PNP)・アナログ出力(1 〜5V/4〜20mA)をご指定下さい。 ※本製品は校正・修理対象外になります。 ボディ材質 樹脂(禁油なし) 接続口径 φ6mmワンタッチ(樹脂) 精度保証範囲 3~100%F.S. 応答速度(90%) 50msec以下 直線性 ±3%F.S.以内 適用ガス N₂、Air 接ガス部材質 ポリアミド樹脂、SUS303、フッ素ゴム スイッチ出力※ 出力2点(NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下) 出力2点(PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下) アナログ出力※ 1~5V電圧出力1点(接続負荷インピーダンス50kΩ以上) 4~20mA電流出力1点(接続負荷インピーダンス0~300Ω) 使用温度 0~50℃ 耐圧 1000kPa リーク規格 0.5㎖/min以下(圧縮空気0.7MPa加圧時) 電源 電圧出力:DC12~24V(10.8~26.4V)、 電流出力:DC24V(21.6~26.4V) 外寸法・重量 約W65×D17×H38.5mm・約80g ※・上記以外のボディ材質・流量レンジ・接続口径・適用ガスの規格もご ざいます。お問合せ下さい。 小型流量コントローラ COMPACT MASS FLOW CONTROLLERS ■コンパクトサイズでプリセット機能、積算機能搭載。 ■シリコンマイクロ加工技術を応用した白金センサチップ採 用で高速制御が可能。 ■制御状態が一目で分かるデジタル表示器搭載。 商品コード 区分 型式 流量レンジ (L/min) 分解能 (L/min) 価格(円) 65-0951 4 MF-CP10NH6-S-005-AI 0〜0.5 0.001 80,000 65-0952 4 MF-CP10NH6-S-010-AI 0〜1 0.01 80,000 65-0953 4 MF-CP10NH6-S-020-AI 0〜2 80,000 65-0954 4 MF-CP10NH6-S-050-AI 0〜5 80,000 65-0955 4 MF-CP10NH6-S-100-AI 0〜10 0.1 80,000 65-0956 4 MF-CP10NH6-S-200-AI 0〜20 80,000 65-0957 4 MF-CP10NH8-S-500-AI 0〜50 80,000 65-0958 4 MF-CP10NH8-S-101-AI 0〜100 1 90,000 ※ご注文時に下記仕様欄のアラーム出力(NPN/PNP)をご指定下さい。 ※本製品は校正・修理対象外になります。 ボディ材質 樹脂(禁油なし) 接続口径 φ6mmワンタッチ(樹脂) フルスケール流量50、100L/minはφ8mm 制御範囲 3〜100%F.S. 応答速度 フルスケール流量0.5~20L/min:設定±5%F.S.に0.5sec以内(TYP.) フルスケール流量50、100L/min:設定±5%F.S.に1sec以内(TYP.) 精度 ±3%F.S. 適用ガス N₂、Air 接ガス部材質 ポリアミド樹脂、フッ素ゴム、ステンレス、アルミナ、 半導体シリコン、半田 アラーム出力※ NPN出力/PNP出力 使用温度 0〜50℃ 耐圧 490kPa 電源 DC24V±10%(リップル率2%以下の安定化電源) 外寸法・重量 約W70×D30×H70mm・約200g ※・上記以外のボディ材質・接続口径・適用ガスの規格もございます。お 問合せ下さい。 ※価格はすべて税抜き価格です。消費税は含まれておりません。 1003 計測機器 流量計・圧力計 5Flow Meter, Pressure Gauge 6 流 量 計 ・ 圧 力 計 電子天秤・ は か り 水 分 計・ 密 度 計・ 比 重 計 温 度 計・ 湿 度 計 気象計器・ 風 速 計 流 量 計・ 圧 力 計 硬 度 計・ 粘 度 計・ 回 転 計・ 膜 厚 計 テスター・ レコーダ・ タイマー・ ス ト ップ ウォ ッ チ 融点測定 装 置 ・

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