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デジタルマスフローコントローラー CMQ-VシリーズFLOWMETER特 長■μFセンサを利用した、0.3秒以内の超高速制御を実現したマスフローコントローラーです（J/Kタイプでは0.7秒以内）。■専用ACアダプタを用意しておりますので、実験室などでコンセントにつなぐだけでお使い頂けます（AC100～240V）。■標準ガスモデル1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、他のガス種切替機能にて設定してご使用頂けます。■パソコンローダに対応しています。各種設定パラメータをダウンロードできる他、制御トレンドデータを収集できます。■高精度モデルもご用意可能です。商品コード区分型式レンジ（Sl/min）価格（円）65-00416MQV9500BSRN0000000.5170,00065-00426MQV0005BSRN0000005170,00065-00436MQV0050BSRN00000050170,00065-00446MQV0200JSRN000000200313,00065-0010681446681-001 専用コネクタ付ケーブル 2m5,00065-0045681446957-001 専用ACアダプタ（AC100V）8,000※レンジは20℃、1気圧換算。型式MQV9500BMQV0005BMQV0050BMQV0200Jアナログ出力レンジDC0～5V/1～5V/0～20mA/4～20mA（切替可能）積算表示表示範囲0.00～999,999.99L0.0～9,999,999.9L0～99,999,999L0.001～99,999.999m³表示分解能0.01L0.1L1L0.01m³アラーム、イベント出力アラーム出力：1点、イベント出力：2点（DC30V、30mAMAX…オープンコレクタ 非絶縁出力）定格電源DC24V消費電流：300mAMAXDC24V消費電流：400mAMAX接ガス部材質SUS316、PTFE、フッ素ゴム接続方式Rc1/4Rc1/2取付け姿勢水平取付け、ただし設定表示部面が下向きにならないこと外寸法（mm）W137×D37×H130W200×D50×H151型式MQV9500BMQV0005BMQV0050BMQV0200J標準対応ガス種類空気、窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス（CO₂）、都市ガス13A（LNG）メタン100％、プロパン100％、ブタン100％精度（標準温度、標準差圧にて）±0.5％FS（0％FS≦Q≦50％FS）±1％FS（50％FS＜Q≦100％FS）±0.5％FS（0％FS≦Q≦40％FS）±1％FS（40％FS＜Q≦80％FS）±1.5％FS（80％FS＜Q≦100％FS）標準差圧（kPa）200150200200必要差圧（kPa）5100耐圧（MPa）1許容動作温度範囲ー10～＋60℃許容動作湿度範囲10～90％rh（ただし、凍結なきこと）流量設定設定方法①キー入力②外部アナログ入力③専用ローダ通信④RS-485通信（3線式）外部アナログ入力入力レンジ：DC0～5V/1～5V/0～20mA/4～20mA（切替可能）気体用マスフローメーター CMSシリーズFLOWMETER特 長■μFセンサを利用し、高精度、高分解能、ワイドレンジを実現した気体質量流量計。■標準ガスモデル1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、プロパンなどのガス種を切替して使用可能（ガス種によって計測レンジが異なります）。■瞬時/積算流量表示、アナログ出力、積算パルス出力、イベント出力2点、アナログ出力ガスケーリング機能。商品コード区分型式レンジ（Sl/min）本体材質価格（円）65-00036CMS0020BSRN20000020SUS77,00065-00046CMS0050BSRN20000050SUS77,00065-0005681446594-006 専用コネクタ付ハーネス 5m4,00065-0013781446594-030 ACアダプタ接続ハーネス4,00065-0045681446957-001 ACアダプタ8,000※レンジは20℃、1気圧空気換算。※ハーネスは本体とセットでご注文下さい。※他にもレンジ0.5～500Sl/minのもの、水素等対応モデルもあります。 お問合せ下さい。出力信号（瞬時流量出力）DC0～5V/1～5V/4～20mA選択可能イベント出力オープンコレクタ出力 2点イベント機能瞬時流量上限/下限、積算カウントアップ、逆積算カウントダウン積算パルス出力（イベント2のみ）流量データシリアル出力（イベント1）より選択可能外部接点入力積算カウントリセット専用入力：無電圧接点入力 1点電気接続専用コネクタ付ハーネス（別売部品）表示部7セグメントLED4桁/瞬時流量・積算流量の切替表示外寸法（mm）W91×D37×H69.1質量（g）約800型式CMS0020CMS0050対応ガス種類空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A（LNGペース）、メタン、プロパン、ブタン100％計測精度20℃，1atmにて（SUSモデル）±3％RD±1digit（4～20L/min）±3％RD±1digit（5～50L/min）最小表示値（L/min）0.1表示分解能（L/min）0.1使用温度範囲（℃）0～＋50（ただし精度保証は＋10～＋35℃）使用湿度範囲10～90％rh（ただし、結露なきこと）接続口径Rc1/4本体材質SUS303及びSUS316使用圧力範囲（MPa）ー0.07～＋1.0耐圧（MPa）1.5取付け姿勢水平、流れ方向 左→右定格電圧DC12～24Vサンプリング周期100ms±10ms関連マーク1002マークの詳細はP.867をご覧下さい計測機器流量計・圧力計FlowMeter,PressureGauge56電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ流量計・圧力計融点測定装置
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小型流量センサCOMPACTMASSFLOWMETER■高精度・高速応答の超小型流量センサ。消費ガス・パージガスの流量管理に最適。■瞬時流量及び積算機能を搭載。■垂直水平どの方向にも取付けることができます。商品コード区分型式流量レンジ分解能価格（円）65-09214MF-FP10NH06-005-AI0〜0.5L/min1㎖/min57,00065-09224MF-FP10NH06-010-AI0〜1L/min57,00065-09234MF-FP10NH06-020-AI0〜2L/min0.01L/min57,00065-09244MF-FP10NH06-050-AI0〜5L/min57,00065-09254MF-FP10NH06-100-AI0〜10L/min57,00065-09264MF-FP10NH06-200-AI0〜20L/min0.1L/min57,00065-09274MF-FP10NH06-500-AI0〜50L/min57,000※上記すべてニードルバルブ付です。※ご注文時に下記仕様欄のスイッチ出力（NPN/PNP）・アナログ出力（1〜5V/4〜20mA）をご指定下さい。※本製品は校正・修理対象外になります。ボディ材質樹脂（禁油なし）接続口径φ6mmワンタッチ（樹脂）精度保証範囲3～100％F.S.応答速度（90％）50msec以下直線性±3％F.S.以内適用ガスN₂、Air接ガス部材質ポリアミド樹脂、SUS303、フッ素ゴムスイッチ出力※出力2点（NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）出力2点（PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）アナログ出力※1～5V電圧出力1点（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）4～20mA電流出力1点（接続負荷インピーダンス0～300Ω）使用温度0～50℃耐圧1000kPaリーク規格0.5㎖/min以下（圧縮空気0.7MPa加圧時）電源電圧出力：DC12～24V（10.8～26.4V）、電流出力：DC24V（21.6～26.4V）外寸法・重量約W65×D17×H38.5mm・約80g※上記以外のボディ材質・流量レンジ・接続口径・適用ガスの規格もございます。お問合せ下さい。小型流量コントローラCOMPACTMASSFLOWCONTROLLERS■コンパクトサイズでプリセット機能、積算機能搭載。■シリコンマイクロ加工技術を応用した白金センサチップ採用で高速制御が可能。■制御状態が一目で分かるデジタル表示器搭載。商品コード区分型式流量レンジ（L/min）分解能（L/min）価格（円）65-09514MF-CP10NH6-S-005-AI0〜0.50.00180,00065-09524MF-CP10NH6-S-010-AI0〜10.0180,00065-09534MF-CP10NH6-S-020-AI0〜280,00065-09544MF-CP10NH6-S-050-AI0〜580,00065-09554MF-CP10NH6-S-100-AI0〜100.180,00065-09564MF-CP10NH6-S-200-AI0〜2080,00065-09574MF-CP10NH8-S-500-AI0〜5080,00065-09584MF-CP10NH8-S-101-AI0〜100190,000※ご注文時に下記仕様欄のアラーム出力（NPN/PNP）をご指定下さい。※本製品は校正・修理対象外になります。ボディ材質樹脂（禁油なし）接続口径φ6mmワンタッチ（樹脂） フルスケール流量50、100L/minはφ8mm制御範囲3〜100％F.S.応答速度フルスケール流量0.5～20L/min：設定±5％F.S.に0.5sec以内（TYP.）フルスケール流量50、100L/min：設定±5％F.S.に1sec以内（TYP.）精度±3％F.S.適用ガスN₂、Air接ガス部材質ポリアミド樹脂、フッ素ゴム、ステンレス、アルミナ、半導体シリコン、半田アラーム出力※NPN出力/PNP出力使用温度0〜50℃耐圧490kPa電源DC24V±10％（リップル率2％以下の安定化電源）外寸法・重量約W70×D30×H70mm・約200g※上記以外のボディ材質・接続口径・適用ガスの規格もございます。お問合せ下さい。※価格はすべて税抜き価格です。消費税は含まれておりません。1003計測機器流量計・圧力計5FlowMeter,PressureGauge6流量計・圧力計電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ融点測定装置
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