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小型流量センサCOMPACTMASSFLOWMETER■高精度・高速応答の超小型流量センサ。消費ガス・パージガスの流量管理に最適。■瞬時流量及び積算機能を搭載。■垂直水平どの方向にも取付けることができます。商品コード区分型式流量レンジ分解能価格（円）65-09216MF-FP10NH06-005-AI0〜0.5L/min1㎖/min75,00065-09226MF-FP10NH06-010-AI0〜1L/min75,00065-09236MF-FP10NH06-020-AI0〜2L/min0.01L/min75,00065-09246MF-FP10NH06-050-AI0〜5L/min75,00065-09256MF-FP10NH06-100-AI0〜10L/min75,00065-09266MF-FP10NH06-200-AI0〜20L/min0.1L/min75,00065-09276MF-FP10NH06-500-AI0〜50L/min75,000※上記すべてニードルバルブ付です。※電源ケーブル（AC100V、約3m）付属。※ご注文時に下記仕様欄のスイッチ出力（NPN/PNP）・アナログ出力（1〜5V/4〜20mA）をご指定下さい。※校正は注文時のみ可能。検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図等が必要な場合は別途お問合せ下さい。※本製品は校正（注文時除く）・修理対象外になります。ボディ材質樹脂（禁油なし）接続口径φ6mmワンタッチ（樹脂）精度保証範囲3～100％F.S.応答速度（90％）50msec以下直線性±3％F.S.以内適用ガスN₂、Air接ガス部材質ポリアミド樹脂、SUS303、フッ素ゴムスイッチ出力※出力2点（NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）出力2点（PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）アナログ出力※1～5V電圧出力1点（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）4～20mA電流出力1点（接続負荷インピーダンス0～300Ω）使用温度0～50℃耐圧1000kPaリーク規格0.5㎖/min以下（圧縮空気0.7MPa加圧時）電源電圧出力：DC12～24V（10.8～26.4V）電流出力：DC24V（21.6～26.4V）外寸法・重量約W65×D17×H38.5mm・約80g※上記以外のボディ材質・流量レンジ・接続口径・適用ガスの規格もございます。お問合せ下さい。小型流量コントローラCOMPACTMASSFLOWCONTROLLERS■コンパクトサイズでプリセット機能、積算機能搭載。■シリコンマイクロ加工技術を応用した白金センサチップ採用で高速制御が可能。■制御状態が一目で分かるデジタル表示器搭載。商品コード区分型式流量レンジ（L/min）分解能（L/min）価格（円）65-09515MF-CP10NH6-S-005-AI0〜0.50.00190,00065-09525MF-CP10NH6-S-010-AI0〜10.0190,00065-09535MF-CP10NH6-S-020-AI0〜290,00065-09545MF-CP10NH6-S-050-AI0〜590,00065-09555MF-CP10NH6-S-100-AI0〜100.190,00065-09565MF-CP10NH6-S-200-AI0〜2090,00065-09575MF-CP10NH8-S-500-AI0〜50100,00065-09585MF-CP10NH8-S-101-AI0〜1001100,000※電源ケーブル（AC100V、約2m）付属。※ご注文時に下記仕様欄のアラーム出力（NPN/PNP）をご指定下さい。※校正は注文時のみ可能。検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図等が必要な場合は別途お問合せ下さい。※本製品は校正（注文時除く）・修理対象外になります。ボディ材質樹脂（禁油なし）接続口径φ6mmワンタッチ（樹脂） フルスケール流量50、100L/minはφ8mm制御範囲3〜100％F.S.応答速度フルスケール流量0.5～20L/min：設定±5％F.S.に0.5sec以内（TYP.）フルスケール流量50、100L/min：設定±5％F.S.に1sec以内（TYP.）精度±3％F.S.適用ガスN₂、Air接ガス部材質ポリアミド樹脂、フッ素ゴム、ステンレス、アルミナ、半導体シリコン、半田アラーム出力※NPN出力/PNP出力使用温度0〜50℃耐圧490kPa電源DC24V±10％（リップル率2％以下の安定化電源）外寸法・重量約W70×D30×H70mm・約200g※上記以外のボディ材質・接続口径・適用ガスの規格もございます。お問合せ下さい。関連マーク1032マークの詳細はP.891をご覧下さい計測機器流量計・圧力計FlowMeter,PressureGauge56電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ流量計・圧力計融点測定装置
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気体用流量計 FLOWMETER特 長■応答速度（4ms）が速く、読み値±2％の高精度、低圧力損失。■エアー、O₂及びN₂ガス校正、精密流量測定ができます。■多機能な流量、体積、圧力、温度デジタル出力。■流量はアナログ出力も可能。■NIST（米国標準技術局）トレーサブル校正証明書標準付属。商品コード区分型式校正ガス外寸法（mm）価格（円）65-089174140空気、O₂W127×D49×H32173,00065-089274143173,00065-089374040W182×D63×H53186,00065-089474043186,00065-089574045186,000型式41404143404040434045流量測定範囲0.01～20StdL/min0～300StdL/min0～200StdL/min0～300StdL/min測定精度±2％または0.005StdL/minの大きい方±2％または0.05StdL/minの大きい方インレット/アウトレット直径6.4mm（1/4インチ）9.525mm（3/8インチ）22mmISOテーパー12.7mm（1/2インチ）19.1mm（3/4インチ）表示単位L/min、StdL/min、cm³/min、Stdcm³/minL/min、StdL/min体積測定範囲0.01～99.9L体積測定精度読み値の2％圧力測定範囲50～199kPa圧力測定精度±1kPa温度測定範囲0～＋50℃温度測定精度±1℃（流量1StdL/min以上時）アナログ出力（流量のみ）0～10VDC（RS-232よりスパン調整可）電源7.5VDC±1.5V、300mA（最大）付属品ACアダプタ、RS-232及びアナログインターフェイスケーブル、フィルター、取扱説明書、シリアルコマンドセットマニュアル、英文NISTトレーサブル校正証明書40404140マスフローコントローラMASSFLOWCONTROLLERS特 長■微小流量から大流量（最大200SLM）まで対応したべーシックモデル。■±1.0%フルスケール以内の高精度、流量設定値まで1秒以内の高速応答。■SEC-E40/E40MK3/E50/E50MK3は、オートゼロアジャスト機能搭載で高い信頼性。商品コード区分型式価格（円）65-09118SEC-E40MK399,50065-09128SEC-E50MK3138,00065-09138SEC-E40170,00065-09148SEC-E50200,00065-09158SEC-E431X260,00065-09168SEC-E441X290,000※ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい。※専用電源ユニット（PE-D20）、接続ケーブル（SC-EDH-1M/2M/3M/5M/10M）もご用意がございますのでお問合せ下さい。※検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図等が必要な場合は別途お問合せ下さい。型式SEC-E40/E40MK3SEC-E50/E50MK3SEC-E431XSEC-E441X対応ガス種非腐食性ガス（MK3モデルはN₂、O₂、Air、H₂、Ar、Heに対応）N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀フルスケール流量（N₂）10SCCM〜10SLM20〜30SLM50〜100SLM200SLM流量制御範囲2〜100%F.S.5〜100%F.S.流量制度±1%F.S.使用環境温度5〜50℃（精度保証15〜35℃）5〜45℃（精度保証15〜35℃）応答性1秒以内（T98）直線性±0.5%F.S.再現性±0.2%F.S.±0.5%F.S.動作差圧50〜300kPa（10SCCM〜5SLM）（d） 100〜300kPa（10〜30SLM）（d）100〜300kPa（d）200〜350kPa（d）外部リークレート1×10−¹⁰Pa・m³/s（He）以下1×10−⁹Pa・m³/s（He）以下流量設定信号0.1〜5VDC/2〜100％F.S.0.25〜5VDC/5〜100％F.S.流量出力信号0〜5VDC駆動電源＋15VDC±5%50mAー15VDC±5%150mA（3VA）＋15VDC±5%50mAー15VDC±5%200mA（3.9VA）接ガス部材質SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス標準継手1/4Swagelok、VCR3/8Swagelok、VCR※E40MK3/E50MK3は、ガス種限定モデル（N₂、O₂、Air、H₂、Ar、Heに対応）です。※SCCM、SLMはガス入流量（㎖/min、ℓ/minat0℃、101.3kPa）を表す単位です。接続例信号ケーブルSC-EDHシリーズ※価格はすべて税抜き価格です。消費税は含まれておりません。1033計測機器流量計・圧力計5FlowMeter,PressureGauge6流量計・圧力計電子天秤・はかり水分計・密度計・比重計温度計・湿度計気象計器・風速計流量計・圧力計硬度計・粘度計・回転計・膜厚計テスター・レコーダ・タイマー・ストップウォッチ融点測定装置
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