冷却水循環装置・チラーシリーズカタログ 12-13(12-13)

概要

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−10∼80℃まで加温・冷却が可能な省エネタイプ 低温恒温水循環装置 ユニサーモエース・エコ  NCC-3000A・3000B・3000C・3000D・3100A・3100B・3100C・3100D型 ■ニーズ対応表(P.4参照) 高圧ポンプ仕様 炭化水素系 フッ素系 シリコン オイル系 熱媒体循環 純水循環 PCとのシリアル通信 による遠隔操作 ● ● ● ■組込み実績例 NCC-3000B NCC-3100ANCC-3000A 12 接点による遠隔操作 ● 緊急停止スイッチ 各種アラーム出力 ●標準装備 (C・D型)(B・D型) ※上記以外の仕様も特注対応いたします。お問い合わせください。 半導体製造分野 ラッピング装置 エッチング装置 CVD装置 ウェハ検査装置 産業・工作機械 ミキサー 真空ポンプ(水冷式) 原料投入装置 研削盤 分析装置、物理量測定 熱伝導測定装置 分光光度計 分光定量装置 走査電子顕微鏡 省 エ ネ 機 種 空冷式冷凍機 水冷式冷凍機 密 閉 系 循 環 RoHS指令対応製品 特注対応 特注対応 特注対応 特注対応 特注対応 省エネチラー 製 品 名 (空冷式)低温恒温水循環装置(クールエース・エコ) (水冷式)低温恒温水循環装置(クールエース・エコ) 型 式 NCC-3000A NCC-3000B NCC-3000C NCC-3000D NCC-3100A NCC-3100B NCC-3100C NCC-3100D 製 品 コ ー ドNo. 251840 251850 251860 251870 251880 251890 251900 251910 循 環 方 式 密閉系向循環 温 度 制 御 方 式 インバーター周波数制御 対 応 循 環 水 上水 上水と純水 上水 上水と純水 性     能 温 度 調 節 範 囲 -10~80℃ 温 度 調 節 精 度 ±0.1~0.2℃ 冷却能力 (at液 温 ) 30℃ 1600W(1376kcal/h)1440W(1238kcal/h)1840W(1582kcal/h)1680W(1444kcal/h)2850W(2451kcal/h)2700W(2322kcal/h)2850W(2451kcal/h)2690W(2313kcal/h) 10℃ 1230W(1057kcal/h)1070W(920kcal/h)1400W(1204kcal/h)1240W(885kcal/h)1750W(1505kcal/h)1650W(1419kcal/h)1750W(1505kcal/h)1720W(1479kcal/h) 外部循環能力 (50/60Hz) 最大流量14.7L/min、 最大揚程10.4m 最大流量23L/min、 最大揚程20m 最大流量14.7L/min、 最大揚程10.4m 最大流量23L/min、 最大揚程20m 最大流量14.7L/min、 最大揚程10.4m 最大流量23L/min、 最大揚程20m 最大流量14.7L/min、 最大揚程10.4m 最大流量23L/min、 最大揚程20m 機   能 安 全 機 能 温調器自己診断機能、冷凍機オーバーロード、センサ不良、冷凍機高圧スイッチ、冷凍機保護タイマ、 循環ポンプサーマルプロテクタ、凍結防止流量スイッチ、インバータアラーム、漏電・過電流ブレーカ 外 部 入 ・ 出 力 警報出力端子 無接点電圧(a接点) 出力250V/DC30V・Max.3A 構 成 ヒ ー タ 2kW 冷 凍 機 ・ 冷 媒 空冷式 出力550W・R410A 水冷式 出力550W・R410A 規 格 外部循環ノズル 吐出口・戻り口共 外径14mmホース口(Rc3/8メネジ) 水 槽 容 量 3L 供 給 水 - 35℃以下、30L/min以上(供給水入・出口Rc1/2) 使 用 周 囲 温 度 範 囲 5~35℃ 外 ・・・寸・・・ 法(㎜) 340W×440(452)D×852H 質 量 50kg 55kg 50kg 56kg 47kg 51kg 47kg 51kg 電 源 入 力 13.5A、2.7kVA 14A、2.8kVA 14A、2.8kVA 14.5A、2.9kVA 13.5A、2.7kVA 14A、2.8kVA 13.5A、2.7kVA 14A、2.8kVA 定 格 電 源 AC200V・単相 50/60Hz 価     ・ 格 ¥505,000 ¥550,000 ¥615,000 ¥645,000 ¥580,000 ¥620,000 ¥670,000 ¥700,000 ※性能は室温20℃、定格電源電圧、50Hz、無負荷時での値です。※冷却能力、外部循環能力は表示能力の±10%です。※(   )内の寸法は突起物を含みます。 ※液温を10℃以下に設定する場合は低温用熱媒体を使用してください。※電気伝導度0.1μS/cm以下の純水は使用しないでください。(NCC-3000B・3000C・3100B・3100C型) ※低温用熱媒体をご使用の際は、循環ポンプが不具合を起こす恐れがあるため、エチレングリコール濃度35wt%以下で循環してください。(NCC-3000B・3000D・3100B・3100D型) ※液温0℃以下での冷却能力値は、循環液がナイブラインⓇ50wt%の場合です。※NCC-3100A・B・C・D型の冷凍機用ブレードホースは付属していません。 ※流量調整バルブは、標準装備していません。別途オプション(製品コードNo.255420 価格¥13,200)をご購入ください。 NCC-3000型シリーズ 空冷式冷凍機 NCC-3100型シリーズ 水冷式冷凍機 A型 標準ポンプ(0.1MPa) 上水循環仕様 B型 高圧ポンプ(0.2MPa) 上水循環仕様 C型 標準ポンプ(0.1MPa) 純水・上水循環仕様 D型 高圧ポンプ(0.2MPa) 純水・上水循環仕様 ■NCC型シリーズ詳細 ・
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データ 13 純水循環に対応 精密な温度調節が必要とされる各種半導体製造装置で使用される場合、 多くは純水を循環し基板やウェハを載せるステージの温度調節をします。 接液部がステンレスなので、純水循環(電気伝導度0.1μS/cm以上)が可能 で、半導体製造ラインやクリーンルーム内、静電気対策など絶縁熱媒体が必 要とされるラインへの循環に適しています。 オプション 温度出力用センサ 運転中の液温を出力するセンサ です。無人での終夜運転時など、 センサをレコーダに接続して温度 の監視ができます。温度センサ直 接出力です。 製品コードNo.257570 価 格 ¥19,000 ブライン濃度調整用ジョッキ 製品コードNo.256090 価 格 ¥6,500 温度調節精度は±0.1℃ インバーター冷凍機とヒータの組合せにより、高精度な温度調整が行 なえます。精密な温度調節が必要とされる各種半導体製造装置や電子 顕微鏡光源部などへの環境に適しています。 ■加温・冷却曲線 短時間で加温・冷却が可能 10℃から80℃に加温するのに約14分、80℃から0℃に冷却するのは約 21分と短時間で設定温度まで到達します。 組込みに対応した機能を装備 産業分野での使用を考慮して、温度調節器とは別に独立した可変式過 昇防止器、緊急停止ボタン、アラーム出力端子を装備しています。 ■消費電力量の比較 (NCC-3000A型と従来機種NCC-1120型) 消費電力量(W・h) 運転開始2時間で大幅な 省エネを実現(当社比) 従来機種 NCC-1120A型 5000 4000 3000 2000 1000 0 20 40 60 80 100 120 時間(min) 条件:室温20℃、AC200V 50Hz 設定25℃ 負荷860W 省エネ効果 約77% ■温度調節精度 9.6 9.7 9.8 9.9 10.0 10.1 0 10 20 30 40 50 60 液温(℃) 時間(min) 室温20℃、AC200V 50Hz 水 5.5L、熱負荷:1100W 設定温度 10℃ センサ位置 循環水吐出口 条件: 従来機種に対して、装置容量を61%カットしコンパクトで設置しやす くなりました。 コンパクトサイズ 緊急停止ボタン アラーム出力端子 配管中の液漏れや循環先の異常時などにボタン ひとつで装置を緊急停止させます。 チラーが異常状態になった際に、循環先の装置 にアラームを接点出力します。 NCC-3000A型 6030 90 120 時間(min) 0 10 20 30 40 50 60 70 80 温度(℃) 条件:AC200V 単相 50Hz    室温 20℃、上水、無負荷 NCC-1120A 型(旧製品) NCC-3000A 型 NCC-3000A型 NCC-2120A型(従来機種) 寸法:mm 80→10℃ NCC-1120A 型(旧製品) NCC-3000A 型 80→10℃ ス タ ン ダ ー ド チ ラ ー 省 エ ネ チ ラ ー 中 ・ 大 型 チ ラ ー 開 放 系 チ ラ ー 低 温 ・ 恒 温 水 循 環 装 置 オ プ シ ョ ン 外 寸 法 図 接液部がステンレスなので、純水循環(電気伝導度0.1μS/cm以上)が可能で、 半導体製造ラインやクリーンルーム内、静電気対策など絶縁熱媒体が必要とさ れるラインへの循環に適しています。 純水循環による使用例 CVD装置 ウェハの表面に特殊なガスを供給して化学反応 を起こし、その反応で生成された分子の層をウェ ハ上に形成します。基板を載せるステージを温 度調節します。 エッチング 装   置 基板を載せる下部電極を冷却するため、電極内 部に冷却媒体(純水、オイル)等を一定の温度で 循環させる方法をとっています。 循環機器としては低温恒温水循環装置を使用し、 高周波のパワーによりその能力を調整します。 アッシング 装  置 最適温度で照射できるように制御するため、水冷 方式で強制冷却します。 精密な温度調節が必要とされる各種半導体製造装置で使用される場合、 多くは純水を循環し基板やウェハを載せるステージの温度調節をします。 ステージ 基板・ウェハ 循環水 OUT 循環水 IN ラッピング装置 スパッタ装置 CVD装置 露光装置 エッチング装置 アッシング装置 ウェハ検査装置(テスター) 射出成型機 X線回折装置 その他、クリーンルーム内 設置をする装置 など ※1日24時間、年間365日の連続終夜運転の条件です。 ※・CO2の削減量は、「平成22年度電気事業者別排出係数の公表について」(平成24年1月 17日 環境省)中の東京電力㈱の排出係数0.000374(t-CO2/kWh)を使用していま す。 ※・電気料金は11円/kW(契約電力AC200V 1500W/h 使用量550kW以上)での計算です。 (参考) ・1人あたりの1ヶ月のCO2排出量は、全国平均で813kgと報告されていますが、 NCC-3000・3100型シリーズによる年間排出量は、これを大きく上回ります。 従来機種NCC-1120A型 CO2 排出量(kg/年) 7431 電気 料金(年) ¥218,579 Max. 省エネ効果 約77%NCC-3000A型 1686 ¥ 49,617 削減量(kg/年)5745 削減額(年) ¥168,962  CO2排出量、電気料金比較データ ■ランニングコスト比較 ■冷却能力曲線 −20 −10 液温(℃) 90 冷却能力(W) 0 10 20 30 40 50 60 70 80 2500 3000 1000 1500 2000 0 500 NCC-3000A型 NCC-3000B型 NCC-3000C型 NCC-3000D型 NCC-3100A・3100C型 NCC-3100B・3100D型 条件・AC200V 単相 50Hz   ・室温 20℃   ・循環量 最大   ・循環液 10∼80℃:上水        10∼10℃:ナイブライン® Z-1型              50wt% 揚程(m) 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 流量(L/min) 2121 20 18 16 14 12 10 8 66 4 2 NCC-3000B・3000D・3100B・3100D型 NCC-3000A・3000C・3100A・3100C型 条件・AC200V 単相 50Hz   ・循環液 上水   ・液温 20℃ ■外部循環能力曲線 ・

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