冷却水循環装置・チラーシリーズカタログ 12-13(12-13)

概要

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−10∼80℃まで加温・冷却が可能な省エネタイプ低温恒温水循環装置 ユニサーモエース・エコNCC-3000A・3000B・3000C・3000D・3100A・3100B・3100C・3100D型■ニーズ対応表(P.4参照)高圧ポンプ仕様炭化水素系フッ素系シリコンオイル系熱媒体循環純水循環PCとのシリアル通信による遠隔操作●●●■組込み実績例NCC-3000BNCC-3100ANCC-3000A12接点による遠隔操作●緊急停止スイッチ各種アラーム出力●標準装備(C・D型)(B・D型)※上記以外の仕様も特注対応いたします。お問い合わせください。半導体製造分野ラッピング装置エッチング装置CVD装置ウェハ検査装置産業・工作機械ミキサー真空ポンプ(水冷式)原料投入装置研削盤分析装置、物理量測定熱伝導測定装置分光光度計分光定量装置走査電子顕微鏡省エネ機種空冷式冷凍機水冷式冷凍機密閉系循環RoHS指令対応製品特注対応特注対応特注対応特注対応特注対応省エネチラー製品名(空冷式)低温恒温水循環装置(クールエース・エコ)(水冷式)低温恒温水循環装置(クールエース・エコ)型式NCC-3000ANCC-3000BNCC-3000CNCC-3000DNCC-3100ANCC-3100BNCC-3100CNCC-3100D製品コードNo.251840251850251860251870251880251890251900251910冷却・循環方式空冷式・密閉系向循環温度制御方式インバーター周波数制御対応循環水上水上水と純水上水上水と純水性  能温度調節範囲-10~80℃温度調節精度±0.1~0.2℃冷却能力(at液温)30℃1600W(1376kcal/h)1440W(1238kcal/h)1840W(1582kcal/h)1680W(1444kcal/h)2850W(2451kcal/h)2700W(2322kcal/h)2850W(2451kcal/h)2690W(2313kcal/h)10℃1230W(1057kcal/h)1070W(920kcal/h)1400W(1204kcal/h)1240W(885kcal/h)1750W(1505kcal/h)1650W(1419kcal/h)1750W(1505kcal/h)1720W(1479kcal/h)外部循環能力(50/60Hz)最大流量14.7L/min、最大揚程10.4m最大流量21.8L/min、最大揚程19.4m最大流量14.7L/min、最大揚程10.4m最大流量14.7L/min、最大揚程10.4m最大流量23L/min、最大揚程20m最大流量14.7L/min、最大揚程10.4m最大流量23L/min、最大揚程20m機 能安全機能温調器自己診断機能、冷凍機オーバーロード、センサ不良、冷凍機高圧スイッチ、冷凍機保護タイマ、循環ポンプサーマルプロテクタ、凍結防止流量スイッチ、インバータアラーム、漏電・過電流ブレーカ外部入・出力警報出力端子 無接点電圧(a接点) 出力250V/DC30V構成ヒータ2kW冷凍機・冷媒空冷式 出力550W・R410A水冷式 出力550W・R410A規格外部循環ノズル吐出口・戻り口共 外径14mmホース口(Rc3/8メネジ)水槽容量3.6L(液量2.8L)供給水-35℃以下、30L/min以上(供給水入・出口Rc1/2)使用周囲温度範囲5~35℃外  法(㎜)340W×440(452)D×850H質量53kg53kg55kg55kg49kg49kg52kg52kg電源入力13.5A、2.7kVA14A、2.8kVA14A、2.8kVA14.5A、2.9kVA13.5A、2.7kVA14A、2.8kVA13.5A、2.7kVA14A、2.8kVA定格電源AC200V価 格¥505,000¥550,000¥635,000¥670,000¥597,000¥638,000¥690,000¥720,000 )内の寸法は突起物を含みます。※液温を10℃以下に設定する場合は低温用熱媒体を使用してください。※電気伝導度0.1μS/cm以下の純水は使用しないでください。(NCC-3000B・3000C・3100B・3100C型)※低温用熱媒体をご使用の際は、循環ポンプが不具合を起こす恐れがあるため、エチレングリコール濃度35wt%以下で循環してください。(NCC-3000B・3000D・3100B・3100D型)※液温0℃以下での冷却能力値は、循環液がナイブラインⓇ50wt%の場合です。※NCC-3100A・B・C・D型の冷凍機用ブレードホースは付属していません。NCC-3000型シリーズ空冷式冷凍機NCC-3100型シリーズ水冷式冷凍機A型標準ポンプ(0.1MPa)上水循環仕様B型高圧ポンプ(0.2MPa)上水循環仕様C型標準ポンプ(0.1MPa)純水・上水循環仕様D型高圧ポンプ(0.2MPa)純水・上水循環仕様■NCC型シリーズ詳細※性能は室温20℃、定格電源電圧、50Hz、無負荷時での値です。※冷却能力、外部循環能力は表示能力の±10%です。※(※流量調整バルブは、標準装備していません。別途オプション(製品コードNo.255420 価格¥13,600)をご購入ください。最大流量21.8L/min、最大揚程19.4m水冷式・密閉系向循環※電源プラグは付属していません。運賃等が必要です。別途お見積りいたします。
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データ13純水循環に対応精密な温度調節が必要とされる各種半導体製造装置で使用される場合、多くは純水を循環し基板やウェハを載せるステージの温度調節をします。接液部がステンレスなので、純水循環(電気伝導度0.1μS/cm以上)が可能で、半導体製造ラインやクリーンルーム内、静電気対策など絶縁熱媒体が必要とされるラインへの循環に適しています。オプション温度出力用センサ運転中の液温を出力するセンサです。無人での終夜運転時など、センサをレコーダに接続して温度の監視ができます。温度センサ直接出力です。製品コードNo.257570価 格 ¥28,800ブライン濃度調整用ジョッキ製品コードNo.256090 価 格¥6,700温度調節精度は±0.1℃インバーター冷凍機とヒータの組合せにより、高精度な温度調整が行なえます。精密な温度調節が必要とされる各種半導体製造装置や電子顕微鏡光源部などへの環境に適しています。■加温・冷却曲線短時間で加温・冷却が可能10℃から80℃に加温するのに約14分、80℃から0℃に冷却するのは約21分と短時間で設定温度まで到達します。組込みに対応した機能を装備産業分野での使用を考慮して、温度調節器とは別に独立した可変式過昇防止器、緊急停止ボタン、アラーム出力端子を装備しています。■消費電力量の比較(NCC-3000A型と従来機種NCC-1120型)消費電力量(W・h)運転開始2時間で大幅な省エネを実現(当社比)従来機種NCC-1120A型50004000300020001000020406080100120時間(min)条件:室温20℃、AC200V50Hz設定25℃ 負荷860W省エネ効果 約77%■温度調節精度9.69.79.89.910.010.10102030405060液温(℃)時間(min)室温20℃、AC200V50Hz水 5.5L、熱負荷:1100W設定温度10℃センサ位置循環水吐出口条件:従来機種に対して、装置容量を61%カットしコンパクトで設置しやすくなりました。コンパクトサイズ緊急停止ボタンアラーム出力端子配管中の液漏れや循環先の異常時などにボタンひとつで装置を緊急停止させます。チラーが異常状態になった際に、循環先の装置にアラームを接点出力します。NCC-3000A型603090120時間(min)01020304050607080温度(℃)条件:AC200V単相50Hz   室温20℃、上水、無負荷NCC-1120A型(旧製品)NCC-3000A型NCC-3000A型NCC-2120A型(従来機種)寸法:mm80→10℃NCC-1120A型(旧製品)NCC-3000A型80→10℃スタンダードチラー省エネチラー中・大型チラー開放系チラー低温・恒温水循環装置オプション外寸法図接液部がステンレスなので、純水循環(電気伝導度0.1μS/cm以上)が可能で、半導体製造ラインやクリーンルーム内、静電気対策など絶縁熱媒体が必要とされるラインへの循環に適しています。純水循環による使用例CVD装置ウェハの表面に特殊なガスを供給して化学反応を起こし、その反応で生成された分子の層をウェハ上に形成します。基板を載せるステージを温度調節します。エッチング装 置基板を載せる下部電極を冷却するため、電極内部に冷却媒体(純水、オイル)等を一定の温度で循環させる方法をとっています。循環機器としては低温恒温水循環装置を使用し、高周波のパワーによりその能力を調整します。アッシング装 置最適温度で照射できるように制御するため、水冷方式で強制冷却します。ステージ基板・ウェハ循環水OUT循環水INラッピング装置スパッタ装置CVD装置露光装置エッチング装置アッシング装置ウェハ検査装置(テスター)射出成型機X線回折装置その他、クリーンルーム内設置をする装置など※1日24時間、年間365日の連続終夜運転の条件です。※CO2の削減量は、「平成22年度電気事業者別排出係数の公表について」(平成24年1月17日環境省)中の東京電力㈱の排出係数0.000374(t-CO2/kWh)を使用しています。※電気料金は11円/kW(契約電力AC200V1500W/h使用量550kW以上)での計算です。(参考) 1人あたりの1ヶ月のCO2排出量は、全国平均で813kgと報告されていますがNCC-3000・3100型シリーズによる年間排出量は、これを大きく上回ります。従来機種NCC-1120A型CO2排出量(kg/年)7431電気料金(年)¥218,579Max.省エネ効果約77%NCC-3000A型1686¥49,617削減量(kg/年)5745削減額(年)¥168,962 CO2排出量、電気料金比較データ■ランニングコスト比較■冷却能力曲線−20−10液温(℃)90冷却能力(W)01020304050607080250030001000150020000500NCC-3000A型NCC-3000B型NCC-3000C型NCC-3000D型NCC-3100A・3100C型NCC-3100B・3100D型条件・AC200V単相50Hz・室温 20℃・循環量最大・循環液10∼80℃:上水10∼10℃:ナイブライン®Z-1型50wt%揚程(m)024681012141618202224流量(L/min)212018161412108642NCC-3000B・3000D・3100B・3100D型NCC-3000A・3000C・3100A・3100C型条件・AC200V単相50Hz・循環液 上水・液温 20℃■外部循環能力曲線バイパスライン製品コードNo.260590 価 格¥57,700流量調節バルブ製品コードNo.255420 価 格¥13,600

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